Semicorex tredelte grafitdigler er de højtydende opdelte grafitbeholdere, der er specielt konstrueret til enkrystal siliciumvækstprocesser. Semicorex tredelt grafitdigel er ideel til avanceret termisk halvlederbehandling og kan pålideligt understøtte kvartsdigelen og dens interne materialer for at opnå den kontrollerede vækst af enkeltkrystalstrukturer.
Grafitdigelen er almindeligvis placeret på sing-krystalovnens centrale støtteplatform og placeret mellem grafitvarmeren og kvartsdigelen i enkeltkrystalsiliciumvækstproces. De kan støt understøtte kvartsdigelen og smeltede siliciummaterialer og konsekvent lede varme til kvartsdigelen til opvarmning og smeltning af polysilicium under denne proces.
Semicorex bruger det højrente grafitmateriale til at fremstille vores tredelte grafitdigler. Dette råmaterialeudvalg af høj standard giver digler fremragende samlet ydeevne, som er angivet som følger.
EN. Ultrahøj renlighed
Urenhedsforurening er en kritisk fare, der forringer gitterstrukturen af siliciumkrystaller under fremstilling. Brugen af højrent grafitmaterialer af halvlederkvalitet kan minimere forureningsrisici forårsaget af urenhedsudfældning fra tredelte grafitdigler i enkeltkrystal siliciumvækst.
B.Overlegen termisk styringsevne
Semicorex tredelte grafitdiglers termiske modstand muliggør stabil ydeevne ved høje temperaturer, hvilket giver solid støtte til vækst af enkeltkrystal silicium. Med deres bemærkelsesværdige termiske ledningsevne kan Semicorex tredelte grafitdigler opnå effektiv og ensartet polysiliciumsmeltning.
C. Pålidelig kemisk stabilitet
Med stabile kemiske egenskaber kan Semicorex tredelte grafitdigler effektivt modstå korrosion under enkeltkrystalvækst og forhindre uønsket forurening som følge af reaktionsbiprodukter. Semicorex tilbyder også TaC- og SiC-belægningsmuligheder til vores kunder, hvilket gør digler velegnede til høj-korrosive driftsforhold.
Semicorex tredeltgrafitdiglerer konstrueret i tre segmenter og forbindes med dedikerede dele. Dette design leverer fremtrædende styrker i forhold til konventionelle grafitdigler i ét stykke:
EN.Den tre-bladede opdelte struktur af digler løser ulejligheden ved materialehåndtering af konventionelle grafitdigler i ét stykke, hvilket sparer driftstiden betydeligt.
B.Tredelte grafitdigler understøtter udskiftning i ét stykke, hvilket effektivt sænker vedligeholdelses- og udskiftningsomkostningerne for brugerne.
C.Den tre-bladede opdelte struktur af digler kan frigive termisk spænding induceret af temperaturudsving for at undgå den strukturelle forringelse, hvilket i høj grad reducerer revnerisikoen.