Alumina Bernoulli Robotarme

Robotarme anvendes hovedsageligt i front-end processer af halvlederfremstilling som fotolitografi og ætsning, hvor de deltager direkte i håndtering, overførsel og positionering af halvlederwafere. SemicorexaluminiumoxidBernoulli robotarme er keramiske sluteffektorer, der opnår wafer-adsorption og -overførsel baseret på Bernoulli-princippet, der leverer enestående ydeevne inden for renhed, stabilitet, præcision, effektivitet og pålidelighed.

Non-Contact Adsorption

Semicorex aluminiumoxid Bernoulli robotarme kan opnå fast og stabil berøringsfri adsorption af wafere ved at bruge deres specialdesignede konfiguration og luftstrømssystem. Denne berøringsfri betjeningsmetode kan undgå direkte kontakt med halvlederwafere og i høj grad forhindre waferforurening eller skade forårsaget af fysisk kontakt, hvilket er særligt passende de ultra-rene arbejdsforhold og delikat waferoverførsel.

Pålidelig fysisk og kemisk ydeevne

Alumina keramik har fremragende hårdhed og styrke, hvilket gør Semicorex aluminiumoxid Bernoullirobotarmevelegnet til langtidshåndtering af halvlederskiver uden deformation og beskadigelse.

Semicorex aluminiumoxid Bernoulli robotarme leverer også pålidelig kemisk korrosionsbestandighed og kan modstå de udfordrende ætsende gasser og plasmadriftsmiljøer og udviser konstant holdbarhed over en lang periode.

Streng renhedskontrol

Semicorex aluminiumoxid Bernoulli robotarme er fremstillet af aluminiumoxidpulver med høj renhed gennem præcision isostatisk presning og højtemperatursintring. Denne præcise materialevalg og forarbejdningsmetode tillader Semicorex aluminiumoxid Bernoulli robotarme med en ren og tæt keramisk struktur. Dette reducerer markant risikoen for waferforurening forårsaget af de uønskede urenheder fra driftsforhold.

Overlegen præcisionskontrol

Færdig med præcis slibning og polering leverer Semicorex aluminiumoxid Bernoulli robotarme enestående dimensionsnøjagtighed og overlegen overfladeplanhed, hvilket gør dem særdeles velegnede til højpræcisions automatiseret halvlederfremstilling. Derudover kan Semicorex alumina Bernoulli robotarme prale af fremragende termisk stabilitet, selv når de udsættes for miljøer med alvorlige temperatursvingninger, kan de opretholde fremragende gentagen positionering og håndteringspræcision.