Som den professionelle fremstilling vil vi gerne give dig Wafer Heater. Varmeapparater til deponeringsudstyr kræver ensartet termisk fordeling over waferen sammen med høj renhed og plasmamodstand. Semicorex leverer CVD-siliciumcarbidbelagte opvarmningsapplikationer inklusive varmeapparater og digler, vores avancerede varmekomponenter er egnede til vakuumaflejringsmiljø ALD-CVD-PVD-processer.
CVD SiC-belægningen af Semicorex SiC Coating Heater tilbyder overlegen ydeevne til at beskytte varmeelementer mod de barske, ætsende og reaktive miljøer, der ofte opstår i processer som metal-organisk kemisk dampaflejring (MOCVD) og epitaksial vækst.**
Læs mereSend forespørgselMOCVD-varmeren fra Semicorex er en meget avanceret og omhyggeligt konstrueret komponent, der tilbyder en lang række fordele, herunder enestående kemisk renhed, termisk effektivitet, elektrisk ledningsevne, høj emissivitet, korrosionsbestandighed, uoxiderbarhed og mekanisk styrke.**
Læs mereSend forespørgsel