Kina SI Epitaxy producenter, leverandører, fabrik

In CVD equipment, epitaxial deposition cannot be performed directly on metal or simply on a base, as this would be affected by various factors. Therefore, a susceptor is required. The substrate is placed on a tray, and epitaxial deposition is then performed on it using CVD technology. This susceptor is a silicon carbide-coated graphite susceptor (also called a wafer holder).

The graphite susceptor is a core component of MOCVD equipment, serving as both a carrier and a heat source for the substrate. Its performance parameters, such as thermal stability and thermal uniformity, determine the uniformity and purity of the thin film material. Therefore, its quality directly impacts epitaxial wafer production. Furthermore, it is highly susceptible to wear and tear with increased use and changes in operating conditions, making it a high-frequency consumable.

However, pure graphite susceptors can corrode and shed, significantly reducing their service life. Furthermore, fallen graphite powder can contaminate the chip. Coating technology, which provides surface powder fixation, enhanced thermal conductivity, and balanced heat distribution, has become a mainstream solution.

Silicon carbide (SiC) boasts numerous excellent properties, including high thermodynamic stability, excellent thermal conductivity, high electron mobility, oxidation and corrosion resistance, and a thermal expansion coefficient similar to that of graphite. It is the preferred material for graphite susceptor surface coatings.

The wafer susceptor is one of the most critical components in silicon epitaxial growth equipment. It supports silicon wafers and, under high-temperature induction or resistance heating, decomposes and deposits the reactant gases on the wafer surface, forming the epitaxial layer. Because of direct contact with high temperatures and reactant gases, Semicorex wafer susceptors utilize a high-purity graphite base and are SiC-coated to extend service life and maintain high purity.

View as

Wafer Carrier

Semicorex SiC-belagt grafit Wafer Carrier er designet til at give pålidelig wafer-håndtering under halvlederepitaksiale vækstprocesser, hvilket giver høj temperaturbestandighed og fremragende termisk ledningsevne. Med avanceret materialeteknologi og fokus på præcision leverer Semicorex overlegen ydeevne og holdbarhed, hvilket sikrer optimale resultater for de mest krævende halvlederapplikationer.*

Læs mere Send forespørgsel

Grafit waferholder

Semicorex SiC Coated Graphite Waferholder er en højtydende komponent designet til præcis wafer-håndtering i halvlederepitaksevækstprocesser. Semicorex’ ekspertise inden for avancerede materialer og fremstilling sikrer, at vores produkter tilbyder uovertruffen pålidelighed, holdbarhed og tilpasning til optimal halvlederproduktion.*

Læs mere Send forespørgsel

Wafer Acceptor

Semicorex wafer susceptor er specielt designet til halvlederepitaksiprocessen. Det spiller en afgørende rolle for at sikre præcisionen og effektiviteten af waferhåndtering. Vi er en førende virksomhed i den kinesiske halvlederindustri, forpligtet til at give dig de bedste produkter og tjenester.*

Læs mere Send forespørgsel

Wafer Holder

Semicorex waferholder er en kritisk komponent i halvlederfremstilling og spiller en nøglerolle i at sikre nøjagtig og effektiv håndtering af wafers under epitaksiprocessen. Vi er fast forpligtet til at levere produkter af højeste kvalitet til konkurrencedygtige priser og ser frem til at starte en virksomhed med dig.*

Læs mere Send forespørgsel

GaN-on-Si Epi Wafer Chuck

Semicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck er en præcisionskonstrueret substratholder designet specielt til håndtering og behandling af galliumnitrid på epitaksiale siliciumwafere. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

Barrel Susceptor med SiC Coating

Semicorex Barrel Susceptor med SiC Coating er en banebrydende løsning designet til at øge effektiviteten og præcisionen af silicium epitaksiale processer. Denne Barrel Susceptor med SiC Coating er udformet med omhyggelig opmærksomhed på detaljer og er skræddersyet til at opfylde de krævende krav til halvlederfremstilling, og fungerer som den optimale waferholder og letter den sømløse overførsel af varme til wafers. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Læs mere Send forespørgsel

<1 2 >

Semicorex har produceret SI Epitaxy i mange år og er en af de professionelle SI Epitaxy producenter og leverandører i Kina. Når du køber vores avancerede og holdbare produkter, som leverer bulkpakning, garanterer vi den store mængde i hurtig levering. Gennem årene har vi givet kunderne skræddersyet service. Kunderne er tilfredse med vores produkter og fremragende service. Vi ser oprigtigt frem til at blive din pålidelige langsigtede forretningspartner! Velkommen til at købe produkter fra vores fabrik.