Krystallvækstovnen er kerneudstyret til vækst af siliciumcarbidkrystaller. Det svarer til den traditionelle krystallinske silicium-kvalitet krystalvækstovn. Ovnstrukturen er ikke særlig kompliceret. Det er hovedsageligt sammensat af ovnlegemet, varmesystemet, spiraltransmissionsmekanismen, vakuumind......
Læs mere