Semicorex RTP-bærer er siliciumcarbidbelagt ved hjælp af den kemiske dampaflejringsproces (CVD), som er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring. I kernen af halvlederprocessen udsættes epitaksi-susceptorerne først for aflejringsmiljøet, så det har høj varme- og korrosionsbestandighed. Den SiC-belagte bærer har også en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.
● SiC-belagt grafit med høj renhed
● Overlegen varmebestandighed og kemisk resistens
● Høj termisk ensartethed
● Fremragende slidstyrke