Semicorex RTP-bærer er siliciumcarbidbelagt ved hjælp af den kemiske dampaflejringsproces (CVD), som er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring. I kernen af halvlederprocessen udsættes epitaksi-susceptorerne først for aflejringsmiljøet, så det har høj varme- og korrosionsbestandighed. Den SiC-belagte bærer har også en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.
● SiC-belagt grafit med høj renhed
● Overlegen varmebestandighed og kemisk resistens
● Høj termisk ensartethed
● Fremragende slidstyrke
Semicorex RTP Ring er en SiC-belagt grafitring designet til højtydende applikationer i Rapid Thermal Processing (RTP) systemer. Vælg Semicorex for vores avancerede materialeteknologi, der sikrer overlegen holdbarhed, præcision og pålidelighed i halvlederfremstilling.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex's RTP Graphite Carrier Plate er den perfekte løsning til applikationer til behandling af halvlederwafere, herunder epitaksial vækst og waferhåndteringsbehandling. Vores produkt er designet til at tilbyde overlegen varmebestandighed og termisk ensartethed, hvilket sikrer, at epitaksi-susceptorerne udsættes for aflejringsmiljøet med høj varme- og korrosionsbestandighed.
Læs mereSend forespørgselSemicorex RTP SiC Coating Carrier tilbyder overlegen varmebestandighed og termisk ensartethed, hvilket gør den til den perfekte løsning til halvlederwaferbehandlingsapplikationer. Med sin højkvalitets SiC-belagte grafit er dette produkt designet til at modstå det hårdeste aflejringsmiljø for epitaksial vækst. Den høje termiske ledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber sikrer pålidelig ydeevne til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Læs mereSend forespørgselSemicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier er konstrueret til at modstå de hårdeste forhold i aflejringsmiljøet. Med sin høje varme- og korrosionsbestandighed er dette produkt designet til at give optimal ydeevne til epitaksial vækst. Den SiC-belagte bærer har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber, hvilket sikrer pålidelig ydeevne til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Graphite RTP Carrier Plate til MOCVD tilbyder overlegen varmemodstand og termisk ensartethed, hvilket gør den til den perfekte løsning til halvlederwaferbehandlingsapplikationer. Med en højkvalitets SiC-belagt grafit er dette produkt konstrueret til at modstå det hårdeste aflejringsmiljø for epitaksial vækst. Den høje termiske ledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber sikrer pålidelig ydeevne til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Coated RTP Carrier Plate til epitaksial vækst er den perfekte løsning til halvlederwafer-behandlingsapplikationer. Med sine højkvalitets carbongrafit-susceptorer og kvartsdigler behandlet af MOCVD på overfladen af grafit, keramik osv., er dette produkt ideelt til waferhåndtering og epitaksial vækstbearbejdning. Den SiC-belagte bærer sikrer høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber, hvilket gør den til et pålideligt valg til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Læs mereSend forespørgsel