Pandekagesusceptor, en rund form af waferbærer, der bruges i halvlederbehandling.
Epitaksi er et afgørende trin i halvlederbehandling, der vokser det epitaksiale lag på halvlederwafere, hvor waferne bæres på grafitsusceptorerne. Kvaliteten af grafit-susceptorer er nøglefaktorer for kvaliteten af epi-waferne.
Grafitsusceptorer med siliciumcarbidbelægning
Semicorex leverer susceptorer og komponenter til alle epitaksereaktorer, herundertønde susceptorerog pandekagemodtagere. Vi bruger høj renhed grafit og CVD SiC belægning.