End effector er robottens hånd, der flytter halvlederwafere mellem positioner i waferbehandlingsudstyr og bærere. Endeeffektoren skal være formmæssigt præcis og termisk stabil, samtidig med at den har en glat, slidstærk overflade for sikkert at håndtere wafere uden at beskadige enheder eller producere partikelforurening.
Semicorex højrent siliciumcarbid (SiC) belægningskomponenter giver overlegen varmebestandighed, ensartet termisk ensartethed for ensartet epi-lagtykkelse og modstandsdygtighed og holdbar kemisk resistens.
Semicorex aluminiumoxid keramisk arm er en robotkomponent med høj robot designet til præcis og forureningsfri waferhåndtering i halvlederfremstilling. Valg af Semicorex sikrer ikke kun avanceret aluminiumoxid keramisk materialekvalitet, men også præcision håndværk, der garanterer holdbarhed, renlighed og pålidelighed i kritiske procesmiljøer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Sic Arm er en siliciumcarbidkomponent med høj renhed designet til præcis waferhåndtering og placering i halvlederproduktion. Valg af Semicorex sikrer uovertruffen materialesikkerhed, kemisk modstand og præcisionsteknik, der understøtter de mest krævende halvlederprocesser.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex sic fingre er præcisions-konstruerede komponenter fremstillet af siliciumcarbid med høj renhed, designet til at udføre under de ekstreme krav til halvlederproduktion. Valg af Semicorex betyder adgang til avanceret materialekspertise, behandling med høj præcision og pålidelige løsninger, der er tillid til kritiske wafer-håndteringsapplikationer.*
Læs mereSend forespørgsel