Fokusring eller kantringe er designet til at forbedre ætsningens ensartethed omkring waferens kant eller omkreds.
Semicorex fokusringe er siliciumcarbid belagt ved hjælp af kemisk dampaflejring (CVD) giver overlegen varmebestandighed, jævn termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand, og holdbar kemisk resistens, som er bygget til at modstå de ekstreme miljøer i plasmaætsnings- eller tørætsningsprocesser .
Semicorex SiC Focus Ring er en højrent siliciumcarbidringkomponent designet til at optimere plasmafordeling og waferprocesens ensartethed i halvlederfremstilling. At vælge Semicorex betyder at sikre ensartet kvalitet, avanceret materialeteknik og pålidelig ydeevne, som er betroet af førende halvlederfabrikanter over hele verden.*
Læs mereSend forespørgsel