Fokusring eller kantringe er designet til at forbedre ætsningens ensartethed omkring waferens kant eller omkreds.
Semicorex fokusringe er siliciumcarbid belagt ved hjælp af kemisk dampaflejring (CVD) giver overlegen varmebestandighed, jævn termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand, og holdbar kemisk resistens, som er bygget til at modstå de ekstreme miljøer i plasmaætsnings- eller tørætsningsprocesser .