TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD).
Tantalcarbid (TaC) er en forbindelse, der består af tantal og kulstof. Det har metallisk elektrisk ledningsevne og et usædvanligt højt smeltepunkt, hvilket gør det til et ildfast keramisk materiale kendt for sin styrke, hårdhed og varme- og slidstyrke. Smeltepunktet for tantalcarbider topper ved omkring 3880°C afhængigt af renhed og har et af de højeste smeltepunkter blandt de binære forbindelser. Dette gør det til et attraktivt alternativ, når højere temperaturkrav overstiger ydeevnen, der bruges i epitaksiale processer af sammensatte halvledere, såsom MOCVD og LPE.
Materialedata for Semicorex TaC Coating
|
Projekter |
Parametre |
|
Tæthed |
14,3 (gm/cm³) |
|
Emissionsevne |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Hårdhed (HK) |
2000 |
|
Modstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
|
Ændring af grafitdimension |
-10~-20um (referenceværdi) |
|
Belægningstykkelse |
≥20um typisk værdi (35um±10um) |
|
|
|
|
Ovenstående er typiske værdier |
|
Semicorex TaC Coated Components in Epitaxial Growth er en kostbar bearbejdet del placeret i luftindtaget i den epitaksiale proces i halvleder. Semicorex er en førsteklasses virksomhed, der har specialiseret sig i CVD TaC-belægningsteknologi i Kina og eksporterer produkter til hele verden.*
Læs mereSend forespørgselTaC-belagt frøkrystalholder er en højtydende komponent, der er specielt designet til vækstmiljøet for halvledermaterialer. Som en førende producent af TTaC-belagte frøkrystalholdere tilbyder semicorex dig effektive kernekomponentløsninger inden for avanceret halvlederfremstilling.
Læs mereSend forespørgselSemicorex TaC Coating Piedestal Supporter er en kritisk komponent designet til epitaksiale vækstsystemer, specielt skræddersyet til at understøtte reaktorsokler og optimere procesgasflowfordelingen. Semicorex leverer en højtydende, præcisionskonstrueret løsning, der kombinerer overlegen strukturel integritet, termisk stabilitet og kemisk resistens – hvilket sikrer ensartet, pålidelig ydeevne i avancerede epitaksiapplikationer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex CVD TaC Coated Susceptor er en førsteklasses løsning designet til MOCVD epitaksiale processer, der giver enestående termisk stabilitet, renhed og korrosionsbestandighed under ekstreme procesforhold. Semicorex fokuserer på præcisionskonstrueret belægningsteknologi, der sikrer ensartet waferkvalitet, forlænget komponentlevetid og pålidelig ydeevne i hver produktionscyklus.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex TaC Coated Crucibles er højtydende beholder designet til ekstreme temperaturapplikationer, velegnet til både metalsmeltning og avancerede halvlederprocesser. At vælge Semicorex betyder at få adgang til banebrydende belægningsteknologi og ingeniørekspertise, der leverer enestående renhed, holdbarhed og stabilitet i de mest krævende miljøer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex TaC Coated Planetary Plate er en højpræcisionskomponent designet til MOCVD epitaksial vækst, med planetarisk bevægelse med flere waferlommer og optimeret gasflowkontrol. At vælge Semicorex betyder adgang til avanceret belægningsteknologi og ingeniørekspertise, der leverer enestående holdbarhed, renhed og processtabilitet til halvlederindustrien.*
Læs mereSend forespørgsel