TaC-belægningsgrafit skabes ved at belægge overfladen af et højrent grafitsubstrat med et fint lag tantalcarbid ved en proprietær kemisk dampaflejringsproces (CVD).
Tantalcarbid (TaC) er en forbindelse, der består af tantal og kulstof. Det har metallisk elektrisk ledningsevne og et usædvanligt højt smeltepunkt, hvilket gør det til et ildfast keramisk materiale kendt for sin styrke, hårdhed og varme- og slidstyrke. Smeltepunktet for tantalcarbider topper ved omkring 3880°C afhængigt af renhed og har et af de højeste smeltepunkter blandt de binære forbindelser. Dette gør det til et attraktivt alternativ, når højere temperaturkrav overstiger ydeevnen, der bruges i epitaksiale processer af sammensatte halvledere, såsom MOCVD og LPE.
Materialedata for Semicorex TaC Coating
Projekter |
Parametre |
Tæthed |
14,3 (gm/cm³) |
Emissionsevne |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hårdhed (HK) |
2000 |
Modstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Termisk stabilitet |
<2500℃ |
Ændring af grafitdimension |
-10~-20um (referenceværdi) |
Belægningstykkelse |
≥20um typisk værdi (35um±10um) |
|
|
Ovenstående er typiske værdier |
|
Semicorex CVD TAC-coatede ringe er højtydende flowguidekomponenter, der bruges i krystalvækstovne for at sikre præcis gasstyring og termisk stabilitet. Semicorex tilbyder uovertruffen kvalitet, teknisk ekspertise og bevist præstation i de mest krævende halvledermiljøer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Guide Ring med CVD Tantalum -carbidbelægning er en meget pålidelig og avanceret komponent til SIC enkelt krystalvækstovne. Dets overordnede materialegenskaber, holdbarhed og præcisions-konstrueret design gør det til en væsentlig del af krystalvækstprocessen. Ved at vælge vores vejledning i høj kvalitet kan producenter opnå forbedret processtabilitet, højere udbyttehastigheder og overlegen SIC-krystalkvalitet.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex CVD-belægningskiverholder er en højtydende komponent med en tantalcarbidbelægning, designet til præcision og holdbarhed i halvlederpitaxy-processer. Vælg Semicorex for pålidelige, avancerede løsninger, der forbedrer din produktionseffektivitet og sikrer overlegen kvalitet i enhver applikation.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex TAC-belægning af halvmåne del er en højtydende komponent designet til brug i SIC-epitakseprocesser inden for LPE-epitaxyovne. Vælg Semicorex for uovertruffen kvalitet, præcisionsteknik og en forpligtelse til at fremme Semiconductor Manufacturing Excellence.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Halfmoon Part for LPE er en TaC-belagt grafitkomponent designet til brug i LPE-reaktorer, der spiller en afgørende rolle i SiC-epitaksiprocesser. Vælg Semicorex for dets højkvalitets, holdbare komponenter, der sikrer optimal ydeevne og pålidelighed i krævende halvlederproduktionsmiljøer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex TaC Plate er en højtydende, TaC-belagt grafitkomponent designet til brug i SiC-epitaksevækstprocesser. Vælg Semicorex for dets ekspertise i fremstilling af pålidelige materialer af høj kvalitet, der optimerer ydeevnen og levetiden for dit halvlederproduktionsudstyr.*
Læs mereSend forespørgsel