Kammerlåg bruges til at skabe et rent, inert og beskyttet miljø i aflejringskamre, så de udsættes for plasma og høj temperatur under deponerings- eller ætsningsprocesser. Semicorex kammerlåg er holdbare keramiske komponenter belagt med siliciumcarbid ved hjælp af kemisk dampaflejring (CVD) metode, fantastisk til at modstå disse udfordrende miljøer.