Kammerlåg bruges til at skabe et rent, inert og beskyttet miljø i aflejringskamre, så de udsættes for plasma og høj temperatur under deponerings- eller ætsningsprocesser. Semicorex kammerlåg er holdbare keramiske komponenter belagt med siliciumcarbid ved hjælp af kemisk dampaflejring (CVD) metode, fantastisk til at modstå disse udfordrende miljøer.
Semicorex Sic Lid er en siliciumcarbidkomponent med høj renhed, der er konstrueret til ekstreme halvlederforarbejdningsmiljøer. Valg af Semicorex betyder at sikre uovertruffen materialekvalitet, præcisionsteknik og brugerdefinerede løsninger, der er tillid til førende halvlederproducenter over hele verden.*
Læs mereSend forespørgsel