Som den professionelle fremstilling vil vi gerne give dig halvlederkomponenter. Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
SiC-belagte komponenter med høj renhed er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder fra grafitforbrugsvarer til krystalvoksende varme zoner (varmere, digelsusceptorer, isolering) til højpræcisionsgrafitkomponenter til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbidbelagt grafitsusceptorer til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsprocesser såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC)-belagt grafitkonstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epi-lags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Sluteffektor →
End effector er robottens hånd, som flytter halvlederwafere mellem positioner i waferbehandlingsudstyr og bærere.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex SiC Process Tubes er lavet af høj renhed SiC keramik med CVD SiC belægning, det er velegnet til horisontal ovn i Semiconductor. I betragtning af produktkvaliteten og eftersalgsservicen er Semicorex den, der ønsker at gøre forretninger af høj kvalitet med vores verdensomspændende kunder.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex High Purity SiC Cantilever Paddle er lavet af højrent sintret SiC keramik, som er en strukturel del i horisontal ovn i halvleder. Semicorex er erfaren virksomhed, der leverer SiC-komponenter til halvlederindustrien.*
Læs mereSend forespørgselMonokrystallinsk silicium planar target fra Semicorex er en afgørende komponent i banebrydende halvleder fremstillingsindustri. Fremstillet af monokrystallinsk siliciummateriale af topkvalitet og har en meget velordnet krystalstruktur og bemærkelsesværdig renhed. Disse egenskaber gør det til en ideel løsning til fremstilling af pålidelige, højtydende halvlederfilm og optiske film.
Læs mereSend forespørgselSemicorex siliciumkassettebåde er specialiserede transportører fremstillet af 99,9999999 % højrent monokrystallinsk og polykrystallinsk silicium, specielt fokuseret på høj halvlederproduktion. At vælge Semicorex betyder, at du vil drage fordel af pålidelig kvalitet, tilpasningstjenester og øget produktivitet.
Læs mereSend forespørgselSkræddersyet porøs keramisk borepatron er den overlegne løsning til fastspænding og fiksering af emnet designet udelukkende til halvlederfremstilling. At vælge Semicorex betyder, at du vil drage fordel af pålidelig kvalitet, tilpasningstjenester og øget produktivitet.
Læs mereSend forespørgselEnkeltkrystal siliciumbrusehoved, kendt som gassprøjtehovedet eller gasfordelingspladen eller, er en udbredt gasfordelingsenhed i halvlederfremstillingsprocesser til vigtige procestrin såsom rengøring, ætsning og aflejring. Højkvalitets og omkostningseffektivt enkeltkrystal siliciumbrusehoved er afgørende for at forbedre præcisionen og kvaliteten af chipfremstilling i halvlederindustrien.
Læs mereSend forespørgsel