Kina Brusehoved producenter, leverandører, fabrik

Et SiC (siliciumcarbid) brusehoved er en specialiseret komponent, der bruges i forskellige industrielle processer, især i halvlederfremstillingsindustrien. Det er designet til at fordele og levere procesgasser jævnt og præcist under kemisk dampaflejring (CVD) og epitaksiale vækstprocesser.

Brusehovedet er formet som en skive eller plade med flere jævnt fordelte huller eller dyser på overfladen. Disse huller tjener som udløb for procesgasserne, hvilket gør det muligt at sprøjte dem ind i proceskammeret eller reaktionskammeret. Størrelsen, formen og fordelingen af ​​hullerne kan variere afhængigt af den specifikke anvendelse og proceskrav.

En af de vigtigste fordele ved at bruge et SiC brusehoved er dets fremragende varmeledningsevne. Denne egenskab muliggør effektiv varmeoverførsel og ensartet temperaturfordeling over brusehovedets overflade, hvilket forhindrer varme pletter og sikrer ensartede procesforhold. Den forbedrede termiske ledningsevne giver også mulighed for hurtig afkøling af brusehovedet efter processen, hvilket minimerer nedetid og øger den samlede produktivitet.

SiC brusehoveder er meget holdbare og modstandsdygtige over for slid, selv under længere tids udsættelse for ætsende gasser og høje temperaturer. Denne lang levetid udmønter sig i forlængede vedligeholdelsesintervaller og reduceret nedetid på udstyret, hvilket resulterer i omkostningsbesparelser og forbedret procespålidelighed.

Ud over sin robusthed tilbyder SiC brusehoveder fremragende gasdistributionsevner. De præcist konstruerede hulmønstre og konfigurationer sikrer ensartet gasstrøm og fordeling over substratoverfladen, hvilket fremmer ensartet filmaflejring og forbedret enhedsydelse. Den ensartede gasfordeling hjælper også med at minimere variationer i filmtykkelse, sammensætning og andre kritiske parametre, hvilket bidrager til forbedret proceskontrol og udbytte.

Semicorex tilbyder et sintret siliciumcarbid halvlederbrusehoved med lav resistivitet. Vi har evnen til at specialdesigne og levere avancerede keramiske materialer ved at bruge en række unikke egenskaber.