Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Varmpressede bornitriddigler, der er specielt designet til ekstreme temperaturer, er uundværlige keramiske beholdere, der fungerer som de geniale løsninger både til metalsmeltnings- og fordampningsprocesser og halvlederkrystalvækstprocesser.
Læs mereSend forespørgselSIC termoelementbeskyttelsesrør er fremstillet af højkvalitets siliciumcarbidmaterialer og er avancerede keramiske løsninger, der bruges til at beskytte termoelementer fra at fungere normalt i krævende højtemperaturmiljøer. Vælg Semicorex for præcisionskonstruerede SIC termoelementbeskyttelsesrør, der sikrer ensartet kvalitet, omkostningseffektiv pris og maksimeret køleeffektivitet.
Læs mereSend forespørgselFremstillet af den højtydende siliciumcarbid keramik, siliciumcarbid kølekanaler er effektive rørkomponenter, der bruges i køleprocesser af højtemperatur industrielle ovne. Vælg Semicorex for præcisionskonstruerede siliciumcarbid kølekanaler, der sikrer ensartet kvalitet, omkostningseffektiv pris og maksimeret køleeffektivitet.
Læs mereSend forespørgselSemicorex Carbon Ceramic Brake er lavet af avancerede carbon keramiske kompositter, som er et avanceret materiale, der er særdeles velegnet til højtemperatur arbejdsmiljø. Semicorex leverer skræddersyede produkter i henhold til applikationerne og kundernes krav.*
Læs mereSend forespørgselSiliciumcarbid ICP Etching Plate er uundværlig waferholder fremstillet af sintret siliciumcarbidkeramik med høj renhed. Den er specielt designet af Semicorex og fungerer som de afgørende muliggører for induktivt koblede plasma (ICP) ætsnings- og aflejringssystemer i den banebrydende halvlederindustri.
Læs mereSend forespørgsel