Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex SiC-belagte gasafledningsskiver er de uundværlige grafitkomponenter, der anvendes i det halvlederepitaksiale udstyr, designet specielt til at regulere reaktionsgasstrømmen og fremme ensartet gasfordeling i reaktionskammeret. Vælg Semicorex, vælg de optimale gasafledningsløsninger for højkvalitets waferepitaksiale resultater.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Wafer Carrier er lavet af siliciumcarbidkeramik med høj renhed, gennem 3D-printteknologi, hvilket betyder, at den kan opnå højværdibearbejdningskomponenter inden for kort tid. Semicorex anses for at levere de kvalificerede produkter af høj kvalitet til vores globale kunder.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex CVD SiC-belagte øvre jordringe er de essentielle ringformede komponenter, der er udviklet specielt til det sofistikerede plasmaætsningsudstyr. Som den brancheførende leverandør af halvlederkomponenter fokuserer Semicorex på at levere højkvalitets, langtidsholdbare og ultra-rene CVD SiC-belagte øvre jordringe for at hjælpe vores værdsatte kunder med at forbedre driftseffektiviteten og den overordnede produktkvalitet.
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC-tætninger er højtydende mekaniske overfladekomponenter konstrueret til at give overlegen slidstyrke, termisk stabilitet og universel kemisk inertitet i de mest krævende roterende udstyrsmiljøer. Semicorex er en professionel SiC keramisk materialeleverandør, som kan levere højpræcisionsprodukter til globale kunder.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex SiC Pidestal er en højpræcision, multifunktionel hardwarekomponent designet til at give den termiske stabilitet og indviklede væskefordeling, der kræves til avancerede mikrokanalreaktionssystemer. Semicorex har specialiseret sig i konstruktion og levering af disse højrente SiC-sokler i henhold til kundernes behov.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex alumina wafer polering plader er de højtydende poleringskomponenter lavet af aluminiumoxid keramik, som er konstrueret specielt til wafer polering proces i high-end halvlederindustrien. Når du vælger Semicorex, skal du vælge produkter med omkostningseffektive priser, enestående holdbarhed og højeffektiv behandlingsydelse.
Læs mereSend forespørgsel