Semicorex er din partner til forbedring af halvlederbehandling. Vores siliciumcarbid-belægninger er tætte, høje temperatur- og kemikaliebestandige, som ofte bruges i hele cyklussen af halvlederfremstilling, herunder halvlederwafer- og waferbehandling og halvlederfremstilling.
Højrenhed SiC keramiske komponenter er afgørende for processer i halvlederen. Vores tilbud spænder lige fra forbrugsdele til waferbehandlingsudstyr, såsom siliciumcarbid waferbåd, cantilever-padler, rør osv. til Epitaxy eller MOCVD.
Fordele ved halvlederprocesser
Tyndfilmsaflejringsfaserne såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning eller ionimplantat skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring. Semicorex leverer højrent siliciumcarbid (SiC) konstruktion giver overlegen varmebestandighed og holdbar kemisk resistens, selv termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand.
Kammerlåg →
Kammerlåg, der bruges til krystalvækst og waferhåndtering, skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rengøring.
Cantilever-pagaj →
Cantilever Paddle er en afgørende komponent, der bruges i halvlederfremstillingsprocesser, især i diffusions- eller LPCVD-ovne under processer som diffusion og RTP.
Procesrør →
Process Tube er en afgørende komponent, specielt designet til forskellige halvlederbehandlingsapplikationer såsom RTP, diffusion.
Waferbåde →
Wafer Boat bruges i halvlederbehandling, den er omhyggeligt designet til at sikre, at de sarte wafers holdes sikre under de kritiske stadier af produktionen.
Indløbsringe →
SiC-belagt gasindløbsring af MOCVD-udstyr Sammensatte vækst har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Fokusring →
Semicorex leverer Silicon Carbide Coated fokusring er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring.
Wafer Chuck →
Semicorex ultra-flade keramiske vakuum wafer patroner er høj renhed SiC belagt ved brug i wafer håndteringsprocessen.
Semicorex har også keramiske produkter i aluminiumoxid (Al2O3), siliciumnitrid (Si3N4), aluminiumnitrid (AIN), zirconia (ZrO2), kompositkeramik osv.
Semicorex siliciumnitridplader er keramiske underlag med høj styrke designet til at levere enestående termisk ydeevne og mekanisk pålidelighed for avancerede effektmoduler. Valg af Semicorex betyder at drage fordel af præcisionsproduktion, streng kvalitetskontrol og materialeteknisk ekspertise, der sikrer ensartet ydelse, selv i de mest krævende applikationer.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Sic lodret båd er en højtydende Wafer Carrier, der er konstrueret til brug i lodrette ovnprocesser, der tilbyder enestående stabilitet, renlighed og holdbarhed. Vælg Semicorex for kompromisløs kvalitet, præcisionsfremstilling og bevist pålidelighed i termisk behandling af halvleder.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Sic-rør er højtydende siliciumcarbid-keramiske komponenter designet til halvlederovnsanvendelser, hvilket leverer enestående termisk, mekanisk og kemisk stabilitet i krævende procesmiljøer. Vælg Semicorex for præcisions-konstruerede SIC-rør, der sikrer ensartet kvalitet, udvidet levetid og maksimal ovneffektivitet.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Horisontal Chamber Furnace Sic Boats er siliciumcarbidbærer med høj renhed designet til sikker skivebeholdning under høj temperatur horisontal ovnbehandling. Valg af Semicorex betyder at drage fordel af præcis teknik, enestående holdbarhed og overlegen termisk ydeevne til konsekvent produktion med højt udbytte.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex siliciumcarbid -scanningsspejle leverer enestående præcision, hastighed og stabilitet for de mest krævende optiske scanningsapplikationer. Vælg Semicorex for uovertruffen ekspertise inden for SIC Engineering, der tilbyder skræddersyede geometrier, premiumbelægninger og bevist pålidelighed i optiske systemer med højtydende.*
Læs mereSend forespørgselSemicorex Sic-spejle er højtydende siliciumcarbidoptiske komponenter konstrueret til ekstrem præcision i applikationer såsom optiske scanningssystemer, litografi og rumbaserede teleskoper. Vælg Semicorex til vores avancerede produktionsekspertise, tilpasselige design og enestående overfladefinish, der sikrer uovertruffen stabilitet, refleksionsevne og pålidelighed i de mest krævende miljøer.
Læs mereSend forespørgsel