Kina Cantilever pagaj producenter, leverandører, fabrik

Under behandlingen skal halvlederskiver opvarmes i specialiserede ovne. Reaktoren består af aflange, cylindriske rør, hvori wafere er placeret på waferbådene i forudbestemt, ækvidistant afstand. For at overleve behandlingsforholdene i kammeret og for at minimere spild til waferne fra procesudstyret, waferbådene og mange andre enheder, der bruges til wafer-bearbejdning, er fremstillet af et materiale som siliciumcarbid (SiC).

Bådene, der er lastet med et parti wafers, der skal behandles, er placeret på lange udkragede skovle, hvormed de kan indsættes i og trækkes ud af de rørformede ovne og reaktorer. Pagajerne indbefatter en fladtrykt bæresektion, hvorpå en eller flere både kan placeres, og et langt håndtag, placeret ved den ene ende af den fladtrykte bærersektion, ved hjælp af hvilket pagajen kan håndteres.

Cantilever paddle anbefales til at bruge rekrystalliseret siliciumcarbid med et CVD SiC tyndt lag, som er høj renhed og bedste valg for komponenterne i halvlederbehandling.

Semicorex kan levere kundetilpasset service i henhold til tegningerne og arbejdsmiljøet.