Alumina keramisk manipulator

Alumina keramisk manipulatorkaldes også den keramiske alumina-gaffel og wafer-håndterings-endeeffektor. Den er installeret på waferhåndteringsrobotten og svarer til robottens hånd. Den bruges til at bære, transportere og placere halvlederskiver.Silicium waferser ekstremt modtagelige for forurening fra andre partikler, så de håndteres typisk i et vakuummiljø for at sikre renlighed. Alumina keramiske manipulatorer bruger negativt tryksug til at fjerne wafere og transportere halvlederwafers gennem armens teleskopiske, roterende og løftende bevægelser. Der er lufthuller og ventilationsriller inde i den alumina keramiske manipulator, som kan danne et vakuum ved pumpning af luft, så halvlederskiverne kan adsorberes ved let kontakt uden at klemme eller beskadige halvlederskiverne.

Det er velkendt, at jo renere sammensætningen afalumina keramiker, jo højere vil dens styrke være. Semicorex alumina keramiske manipulatorer er lavet af høj renhed aluminiumoxid keramik. Dette resulterer i exceptionel mekanisk styrke og hårdhed. Deres slidstyrke overstiger langt den for stål og kromstål, hvilket giver dem mulighed for at bevare overfladenøjagtigheden over tid i højfriktionsmiljøer, hvilket reducerer risikoen for waferridser og gør dem ideelle til højpræcisionshåndtering. Denne keramiske manipulator af aluminiumoxid har høj resistivitet. Dens enestående elektriske isoleringsegenskaber kan effektivt forhindre elektrostatisk interferens og reducere risikoen for partikeladsorption for at opretholde en ren waferoverflade. Desuden involverer halvlederfremstillingsprocessen komplekse kredsløb og højspændingsmiljøer i udstyret. Den keramiske manipulator af aluminiumoxid med høj modstand blokerer effektivt strømledning, hvilket sikrer elektrisk sikkerhed under håndtering af halvlederwafer. Takket være den høje temperaturbestandighed og termiske stabilitet af aluminiumoxidkeramik deformerer manipulatoren meget lidt under halvledervarmebehandlingsprocessen, kan præcist placere wafers og undgå præcisionsafvigelse forårsaget af termisk deformation. Desuden har dette materiale fremragende kemisk stabilitet og er meget modstandsdygtigt over for korrosion af syrer, alkalier, smeltede metaller osv. Det er ikke let at reagere med andre stoffer for at frigive forurenende partikler og kan effektivt beskytte halvlederdele mod kemisk forurening.