Alumina sluteffektor

Semicorex Alumina End Effector er dukket op som et uundværligt værktøj i det krævende område af halvlederfremstilling, hvor selv mikroskopiske ufuldkommenheder kan kompromittere enhedens ydeevne, rollen som præcisionswaferhåndtering kan ikke overvurderes. Alumina End Effector giver en unik kombination af præcision, renhed og holdbarhed, der er afgørende for at manipulere sarte siliciumwafers gennem forskellige fremstillingsprocesser.**

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Valget af materiale til Semicorex Alumina End Effector er drevet af aluminiumoxidkeramik med høj renhed, unikke egnethed til de barske miljøer, man støder på i halvlederfremstilling:

Enestående renhed til kontamineringskontrol: Alumina End Effector, der har højrent aluminiumoxidkeramik som substrat, er karakteriseret ved deres ekstremt lave niveauer af urenheder, hvilket sikrer, at den ikke introducerer forurenende stoffer, der kan kompromittere de elektriske egenskaber eller ydeevnen af følsomme halvlederenheder.

Høj temperatur stabilitet for proces alsidighed:Alumina End Effector udviser fremragende termisk stabilitet og bevarer dens strukturelle integritet og dimensionelle nøjagtighed selv ved de forhøjede temperaturer, der opstår i processer som termisk oxidation, diffusion og kemisk dampaflejring.

Kemisk inertitet for barske miljøer:Den iboende kemiske modstand af Alumina End Effector gør den uigennemtrængelig for en lang række syrer, baser og opløsningsmidler, der almindeligvis anvendes i halvlederbehandling. Denne inerthed forhindrer korrosion eller nedbrydning af sluteffektoren, sikrer dens langsigtede ydeevne og minimerer risikoen for partikelforurening.

Robuste mekaniske egenskaber for forlænget levetid:Alumina keramik er kendt for deres hårdhed, slidstyrke og evne til at modstå gentagne cyklusser af håndtering og rengøring uden nedbrydning. Denne robusthed oversættes til forlænget levetid for Alumina End Effector, hvilket reducerer udskiftningsomkostninger og nedetid.

Præcisionen, renheden og holdbarheden af Alumina End Effector har gjort den til en vigtig komponent i en række kritiske halvlederfremstillingsprocesser:

Fotolitografi:Præcis waferjustering og placering er altafgørende i fotolitografi, hvor selv små afvigelser kan føre til fejljusteringsfejl og enhedsfejl. Alumina End Effector giver den nødvendige nøjagtighed og stabilitet til dette kritiske procestrin.

Kemisk mekanisk planarisering (CMP):Evnen til at modstå de kemisk aggressive opslæmninger og mekaniske kræfter involveret i CMP gør Alumina End Effector ideel til håndtering af wafere under denne kritiske proces, som planariserer waferoverfladen til efterfølgende lagdeling.

Waferinspektion og metrologi:Den ikke-kontaminerende og ikke-skadelige karakter af Alumina End Effector gør den ideel til håndtering af wafere under inspektion og metrologiprocesser, hvilket sikrer nøjagtige målinger og minimerer risikoen for at introducere defekter.