Semicorex aluminiumoxidmonteringsbaseplader er højtydende keramiske komponent designet til præcis waferhåndtering i halvlederproduktionen. Dens overlegne styrke, isolering og termisk stabilitet gør det ideelt til at kræve rent rumautomatiseringsmiljøer.*
Semicorex aluminiumoxidmonteringsbaseplader er keramiske produkter med høj renhed designet som holdbare og stabile baser til montering af arbejde i halvlederfremstillingsudstyr. Disse plader giver kritisk mekanisk understøttelse og justering til Wafer -behandlingsoperationer såsom litografi, ætsning, afsætning og inspektion. Det er vigtigt at nøjagtigt justere det arbejde, der er chuck med andre systemkomponenter for at sikre, at Wafer -behandling kan forekomme med den krævede tro. Pladerne fremstilles gennem behandlingsteknikker, der er specifikke for keramik for at opnå den nødvendige fladhed, holdbarhed med høj temperatur og langsigtet pålidelighed for at imødekomme de barske krav til moderne halvlederfremstilling i både processer og rentrumsmiljøer.
Semicorex aluminiumoxidmonteringsbaseplader er lavet af høj renhedaluminiumoxidmed et renhedsniveau ≧ 99,5% (typisk). En aluminiumoxid med høj renhed har gode mekaniske og termiske egenskaber såvel som hårdhed. Aluminiumoxid med høj renhed har fremragende iboende elektriske isolerende egenskaber, der også tillader, at disse plader bruges i vakuum- og højspændingsanvendelser, hvor elektrisk interferens kan være et problem. Aluminiumoxidet vil være modstandsdygtig over for termisk cykling, som gør det muligt for pladerne at opretholde bedre dimensionel nøjagtighed end de fleste materialer og er gavnlig for at opretholde justering eller strukturel stabilitet på grund af reduceret termisk ekspansion. Denne faktor er vigtig for at sikre Chuck -gentagelighed og implicitte procestolerancer, mens den fungerer over udvidede produktionscyklusser.
I halvlederforarbejdningssystemer er en montering af bundpladen ikke blot en enhed til mekanisk fastgørelse. Det er mediet med termisk kontakt mellem chuck og resten af udstyret og er kritisk for termisk spredning, strukturel integritet og vibrationsisolering. Behandling af handlinger som (men ikke begrænset til) CVD, PVD eller ionimplantation, hvor høje temperaturer og vakuumtryk er almindelige, kræver en monteringsbase for at være termisk resistent, kemisk inerte og resistente, mekanisk sunde og modstandsdygtige over for termisk chok. Kemisk inertitet er afgørende, fordi et montering skal være kompatibelt med reaktive gasser, samt rengøring af kemister, der forlænger bjergens levetid og forhindrer forurening.
Hver aluminiumoxidmontering af bundpladen lavet af Semicorex er bearbejdet til tolerancer, der kræves af halvleder OEM'er og udstyrsintegratorer. Pladerne er bearbejdet til stramme tolerancer for tykkelse, højdevariation og fladhed for at sikre maksimal stabilitet og gentagelighed. Disse monteringsplader kan fremstilles med monteringshuller, slots eller tæller til kundespecifikationer for bedre at imødekomme arbejdschucks, mekaniske stadier eller andet udstyr. Aluminiumoxid -keramikken behandles ved hjælp af moderne sintring og præcisionslibningsteknikker til at optimere en ensartet mikrostruktur og overfladekvalitet for at sikre ensartet termisk kontakt og justering til brug over tid.
Semicorex aluminiumoxidmonteringsbaseplader bruges i forskellige applikationer, herunder wafer -håndterere, robotoverførselssystemer, vakuumchuck -samlinger og metrologfaser. Denne pålidelighed og holdbarhed i en række krævende processituationer gør dem til det valgte produkt med værktøjsproducenter, der leder efter robuste, langvarige keramiske komponenter med lav vedligeholdelse. Vores ingeniørgruppe samarbejder med kunderne for at levere unikke løsninger, der er specificeret for hver plade for at maksimere effektiviteten til produktion i en halvleder.
Monteringsplader med aluminiumoxid er mere end bare en mekanisk støtte; Det er en nøglekomponent i præcisionsteknik i halvlederindustrien. Med fremragende mekanisk stabilitet, renhed og konfigurerbarhed sikrer de nøjagtig justering, lang levetid og pålidelig drift i en lang række procesværktøjer. For højtydende monteringsbaseplader, der opfylder de høje forventninger fra dagens halvlederproducenter, har tillid til Semicorex.