Aluminiumoxid robotarm

Semicorex aluminiumoxidrobotarm er en højtydende keramisk del designet til waferhåndtering og overførselsopgaver i halvlederproduktionen. Denne robotarm er fremstillet af aluminiumoxid (Al₂o₃) med høj robusthed og giver fleksibilitet, præcision, pålidelighed og holdbarhed i renrum.

Hvad der skiller sig ud til fordel for aluminiumoxidrobotarmen er egenskaberne vedaluminiumoxid keramikMekanisk styrke og hårdhed. Somaluminiumoxidgøres mere ren, alumenuminiumoxid opretholder en bedre strukturel integritet og gør den mere modstandsdygtig over for mekanisk slid og deformation. Som et materiale er aluminiumoxid et godt valg for robotdele, der bruges i delikate og gentagne wafer-håndteringsopgaver, dvs. når en robotarm har brug for at udføre den samme funktion og skabe kontakt med skiver, kan den mindre forvrængning, der anvendes til skiven af robotarmen, koste et facilitetsudbytte. Den høje hårdhed, dvs. stive overflader, kan hjælpe med slibemodstand og funktionelt liv, dvs. forlænge levetiden og varigheden af service/ udskiftning på en robotkomponent.

Ud over sin mekaniske holdbarhed er aluminiumoxidrobotarmen også en fremragende elektrisk isolator. Resistiviteten er op til 10¹⁵ ω · cm, og isoleringsstyrken er op til 15 kV/mm ved stuetemperatur, hvilket giver et meget sikrere miljø til at fungere, især når de forstyrrer elektriske signaler skal reduceres i behandlingsudstyret. Dette bliver vigtigt, når man beskytter følsomme halvlederkomponenter, der overfører mellem processer med minimal risiko for elektrostatisk udladning (ESD) skade.

Aluminiumoxid -keramikken er fremragende til at opretholde stabilitet på tværs af meget høje temperaturer. Smeltepunktet er ca. 2050 ° C og vil modstå høje temperaturer i halvleder termisk behandling uden fordrejning eller dimensionel nøjagtighed. Den høje varmemodstand gør det muligt at bruge armen i processer såsom hurtig termisk annealing (RTA) eller kemisk dampaflejring (CVD), hvor præcisionsindretning og termisk stabilitet er kritisk.

En af de andre betydningsfulde fordele ved aluminiumoxidrobotarmen er dens inertitet. Dens overflade er inert for de fleste rengøringsmidler og procesgasser, der bruges til fremstilling af halvleder. Derfor vil det forblive Denne kemiske inertitet er nøglen til at opnå ultra-rene produktionsbetingelser og give ensartet enhedsydelse.

Aluminiumoxid keramiker også en overkommelig mulighed for halvlederværktøj. Det er let tilgængeligt som et råmateriale, og bearbejdningsprocesserne for aluminiumoxid -keramik er godt forstået og let skalerbare. Dette gør det muligt at producere reproducerbare og konsistente tolerancer for dele af høj kvalitet til en konkurrencedygtig pris. Blandingen af ydeevne og overkommelige priser gør aluminiumoxid -robotarmen ideel til OEM'er og halvlederfabs, hvor du har brug for pålidelige automatiseringskomponenter, der ikke bryder banken.

Sammenfattende giver aluminiumoxidrobotarmen høj mekanisk ydeevne, høj dielektrisk ydeevne, høj termisk resistens, høj kemisk ydeevne, alt sammen med bevist fremstilling til en økonomisk pris. Samlet gør disse ydelsesegenskaber det pålidelige og effektive til præcisions wafer -håndtering af applikationer i halvlederfremstilling, hvilket muliggør forbedret udbytte, potentielt sænkning af kontamineringsrisiko og forbedring af den samlede effektivitet på udstyret.