Alumina robotarme

Semicorex alumina robotarme er typisk installeret i wafer-håndteringsrobotterne, der tjener som wafer-overførselsluteffektorder fungerer som sikker og præcis overførsel af halvlederskiver til de nødvendige positioner. Gennem deres indre lufthuller og gaskanaler kan aluminiumoxid-robotarme generere et konstant undertryk for at adsorbere halvlederwafere. Denne adsorptionsmetode opnår skånsom kontakt med waferoverfladen, hvilket effektivt forhindrer de uønskede overfladeridser og mekaniske skader, og sikrer derved all-around beskyttelse af halvlederwafere.

Fordele ved alumina robotarme

Semicorex implementerer streng kvalitetskontrol for sine produkter fra valg af råmaterialer.

Dens aluminiumoxid-robotarme er præcist fremstillet af høj renhedaluminiumoxidgranuleringspulver, der udviser fremragende egenskaber som følger.

1. Ultrahøj renlighed

Semicorex alumina robotarme har høj materialerenhed og tæt mikrostruktur, som gør dem i stand til at undgå metalionfrigivelse og mikropartikelafgivelse under operationen, og dermed fuldt ud opfylder de strenge renhedskrav til halvlederfremstilling.

2. Høj elektrisk isoleringsevne

Takket være deres høje elektriske isoleringsevne er Semicorex aluminiumoxidrobotarme i stand til at minimere ladningsgenerering under deres drift. Denne pålidelige ydeevne kan effektivt undgå de uønskede ladninger, der overføres af aluminiumoxidrobotarme til halvlederkomponenter og reducere skadesrisikoen på de følsomme halvlederkomponenter.

3. Gunstig omkostningsydelse

Forskellig fraSiC robotarme, aluminiumoxid robotarme tilbyder en økonomisk pris, samtidig med at den opretholder en stabil ydeevne. Semicorex alumina robotarme leverer fremragende mekanisk styrke, slidstyrke, varmebestandighed og korrosionsbestandighed, hvilket får dem til at fungere stabilt under den tunge belastning, højfrekvent drift, høj temperatur og stærkt korrosive arbejdsforhold i lang tid. Denne overlegne holdbarhed forlænger effektivt levetiden for aluminiumoxidrobotarme, hvilket reducerer effektiviteten og omkostningerne ved udskiftning af komponenter.

Anvendelser af Semicorex aluminiumoxid robotarme

Semicorex alumina robotarme anvendes i vid udstrækning i den forreste del af halvlederfremstillingsprocedurer, herunder ætsning, tyndfilmaflejring, ionimplantation og CMP-processer. De kan stabilt, sikkert og præcist understøtte, overføre og placere halvlederwafere og komponenter på tværs af forskellige proceskamre og udstyr under vakuum og høj-renhed driftsforhold.