Ringformet rillet aluminiumoxid patroner

Semicorex ringformet rillede aluminiumoxid patroner vedtager en overfladestruktur bestående af en række flere koncentriske ringformede riller. Når de er forbundet med vakuumpumpen, danner disse riller ringformede undertrykszoner for stabilt at holde tynde wafers og emner med præcis positionering. Semicorex ringformede riller af aluminiumoxid fungerer godt under arbejdsforhold, der kræver stringent planhedsstyring og jævnt fordelt adsorptionskraft, som anvendes bredt i waferholding, eksponeringspositionering, plasmaætsning samt waferinspektion og -overførselsprocesser.

Fordele ved Semicorex ringformet rillede alumina patroner

1. Enestående høj temperatur modstand

Aluminiumoxidkeramik fremstillet ved fortætningssintring udviser bemærkelsesværdig termisk ydeevne. På grund af denne materialeegenskab klarer Semicorex ringformede riller af aluminiumoxid patroner stabilt under ekstreme høje temperaturer arbejdsmiljøer uden strukturel deformation og ydeevneforringelse ved langvarig brug.

2. Ensartet adsorptionskraft

Semicorex ringformet rilletaluminiumoxid patronerhar flere ringformede riller på deres adsorptionsoverflade, hvori der dannes stabile ringformede vakuumzoner. Denne konfiguration muliggør ensartet adsorptionskraft på tværs af de vigtigste wafer-kontaktområder, hvilket således væsentligt sænker delvis wafer-deformation og forvridning.

3. Overlegen strukturel stabilitet og høj gentagelsespositioneringsnøjagtighed

Med overlegen materialestivhed og strukturel stabilitet er Semicorex ringformede riller af aluminiumoxid patroner i stand til at opretholde fremragende fladhed og ensartet positioneringsnøjagtighed under gentagne vakuumspændeoperationer i lang tid.

4. Stærk kemisk korrosionsbestandighed

På grund afaluminiumoxid's pålidelige kemiske stabilitet, Semicorex ringformede rillede aluminiumoxid-patroner har enestående modstandsdygtighed over for de fleste sure og alkaliske stoffer samt forskellige ætsende procesgasser og er yderst tilpasset til udfordrende korrosive driftsforhold.

5. Fremragende renlighed

Takket være stringent materialerenhedskontrol og fortætningsbehandling afgiver Semicorex ringformede rillede aluminiumoxidpatroner sjældent partikler eller frigiver urenheder under drift, hvilket fuldt ud opfylder de strenge lavkontamineringsstandarder i halvlederrenrum.

Hvorfor vælge Semicorex?

Som den brancheførende virksomhed i Kina er Semicorex understøttet af integrerede produktionslinjer og et velerfarent teknisk team. Vi kan tilbyde skræddersyet teknisk support og optimerede procesløsninger til vores kunder og forsyne dem med ikke-standard tilpasningsfremstilling af vores ringformede rillede aluminiumoxidpatroner i materialets renhed, patronernes form, dimensioner, fladhed, tolerancer og andre krav.