Keramiske elektrostatiske patroner

Keramiske elektrostatiske patronerer præcisionskomponenter, der bruger det elektrostatiske felt, der genereres mellem elektroder og wafere, til at klemme og fiksere wafers. De anvendes i vid udstrækning inden for områder som halvledere, fladskærme og optik og er kernekomponenter i avanceret udstyr som PVD-enheder, ætsemaskiner og ionimplantater.

Sammenlignet med traditionelle mekaniske patroner og vakuumpatroner har keramiske elektrostatiske patroner mange fordele inden for halvlederfremstilling. Denne keramiske elektrostatiske borepatron bruger statisk elektricitet til at flade og jævnt holde wafers på overfladen. Denne ensartede adsorptionskraft kan holde det adsorberede objekt relativt fladt og undgåoblatvridning eller deformation, der kan være forårsaget af traditionelle mekaniske patroner ellervakuum patroner, og sikre, at waferen bevarer behandlingsnøjagtighed, der er egnet til højpræcisionshalvlederprocesser.

Nogle keramiske elektrostatiske patroner har integrerede varmefunktioner, som nøjagtigt kan kontrollere wafertemperaturen gennem tilbageblæsende gas eller interne varmeelektroder, tilpasse sig de strenge temperaturkrav i forskellige processer og forbedre behandlingsstabiliteten.

I modsætning til mekaniske patroner reducerer keramiske elektrostatiske patroner mekaniske bevægelige dele, reducerer virkningen af ​​partikelformige forurenende stoffer på waferkvaliteten, beskytter effektivt renheden af ​​waferoverfladen og forbedrer produktudbyttet.

Keramiske elektrostatiske patroner tilbyder bred kompatibilitet. De kan rumme wafers af forskellige størrelser og materialer, herunder silicium, galliumarsenid og siliciumcarbid, og opfylder forskellige behov for fremstilling af halvledere.

De kan arbejde stabilt i højvakuummiljøer såsom ionimplantation og CVD, overvinde begrænsningen af ​​traditionelle vakuumpatron, der ikke kan absorbere wafers i et vakuummiljø, og opfylder perfekt proceskravene for ionimplantation, kemisk dampaflejring (CVD) og andre processer i halvlederfremstilling.