Keramiske fokusringe til halvledere

Semicorex keramikfokusrings til halvledere er de ideelle løsninger, der er skræddersyet til de barske driftsforhold for plasmaætsning. Under den sofistikerede halvlederætsningsproces er det afgørende at kontrollere plasmafordelingen præcist, hvilket kan sikre ætsekammerstabilitet og ensartet halvlederætsningsensartethed. Som de uundværlige komponenter, der bruges i det avancerede ætseudstyr, er fokusringe typisk placeret rundt om halvlederskiverne og kommer i direkte kontakt med dem. Ydeevnen af ​​fokusringe har direkte indflydelse på processens repeterbarhed, produktudbytte og udstyrets oppetid.

Fordele ved Semicorex keramiske fokusringe til halvledere

1. Ultrahøj materialerenhed

Renheden af ​​voresCVD SiCmateriale overstiger 99,9995%. Dette kan effektivt forhindre forurening af ætsekammeret og halvlederwafere forårsaget af utilstrækkelig materialerenhed.

2.Exceptionel korrosionsbestandighed

Semicorex keramiske fokusringe til halvledere er fremstillet af CVD SiC, som har fremragende modstandsdygtighed over for oxidation, erosion og kemisk korrosion, og er særligt effektive mod procesgasser som HF og HCI samt plasmagas.

3.Superior modstand ydeevne

Modstandens ensartethed af Semicorex keramiske fokusringe til halvledere er mindre end 5 %.

Resistivitetsområder: Lav Res. (<0,02 Ω·cm), Mellem Res. (0,2–25 Ω·cm), høj opløsning. (>100 Ω·cm).

Funktioner af Semicorex keramiske fokusringe til halvleder

1.Kontrol og ensartet det elektriske kantfelt og plasmafordelingen

Semicorex keramiske fokusringe til halvledere kan styre fordelingen af ​​det elektriske felt inde i ætsekammeret og opnå en mere ensartet plasmakappe omkring halvlederwafere, hvilket gør det muligt for plasma at støde ind på waferoverfladen på en lodret og ensartet måde. På denne måde kan ætsekanteffekten reduceres betydeligt, og ætsningspræcisionen kan forbedres væsentligt.

2.Beskyt den elektrostatiske borepatron

Uden beskyttelse af fokusringe i ætseprocessen vil den elektrostatiske borepatron blive udsat for bombardement og erosion af højenergiplasma. Elektrostatiske patroner er lavet af dyre materialer med ekstremt høje udskiftningsomkostninger. Brug af fokusringe kan effektivt sænke plasmakorrosion på den elektrostatiske borepatron og minimere vedligeholdelses- og udskiftningsomkostningerne for den elektrostatiske borepatron.