Digelstøttebakke

Ved højtemperaturhalvlederfremstilling er stabilitet og præcision afgørende for at sikre ensartet krystalkvalitet. Semicorex Crucible Support Tray spiller en vigtig, men ofte overset rolle i at opretholde integriteten af ​​krystalvækstprocessen ved at give et pålideligt fundament under ekstreme termiske og mekaniske forhold.

Crucible Support Tray, også kendt som enkulstof/kulstof (C/C)digelholder, er specielt konstrueret til at understøtte kvarts- eller grafitdigler under væksten af ​​enkeltkrystalsilicium. Placeret ved bunden af ​​det termiske felt skal denne komponent modstå langvarig udsættelse for høje temperaturer, samtidig med at den strukturelle integritet og dimensionsstabilitet bibeholdes. Dens robuste design sikrer, at diglen forbliver sikkert placeret under hele processen, hvilket minimerer vibrationer, deformation eller fejljustering, der kan påvirke krystalkvaliteten negativt.

C/C-støttebakkens rolle

Under væksten af ​​monokrystallinsk silicium overstiger temperaturen ofte 1400°C. Selvom traditionelle grafitmaterialer er nyttige, står de ofte over for udfordringer med hensyn til levetid og deformation under den tunge vægt af smeltet silicium. Vores C/C Composite Crucible Support Tray løser disse smertepunkter.

Ved at bruge en højstyrke kulfiberforstærket matrix tilbyder denne bakke en "nær nul" termisk ekspansionsprofil og enestående belastningskapacitet. Den fungerer som grænsefladen mellem diglen og den roterende aksel, og opretholder et perfekt plan plan for at forhindre smelteturbulens og krystaldefekter.

Tekniske specifikationer & materiale fremragende

Massefylde: ≥ 1,3 g/cm³

Bøjestyrke: ≥ 110 MPa

Termisk udvidelseskoefficient (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Trykstyrke: ≥ 160 MPa