Semicorex smeltede kvartsovnsrør er de afgørende rørformede kvartskomponenter, der i vid udstrækning anvendes i banebrydende halvleder- og fotovoltaiske fremstillingsområder. Semicorex smeltede kvartsovnsrør er omhyggeligt fremstillet af højrente kvartsmaterialer og er velegnede til arbejdsforhold med høj temperatur, højtryk og stærk korrosion.
Sammensmeltetkvarts ovnrørdanner typisk højtemperaturbehandlingsområdet for wafere sammen med de væsentlige komponenter såsom kvartsbåde, reaktorer, varmelegemer og kvartsbafler. Under fremstillingen anbringes wafere i kvartsbåde og transporteres ind i ovnrørene til processer, såsom diffusion, oxidation og udglødning. Som den afgørende del af disse processer påvirker smeltede kvartsovnsrør direkte kvaliteten og udbyttet af halvleder- eller fotovoltaiske produkter.
På grund af deres pålidelige ydeevne og kvalitet kan Semicorex smeltede kvartsovnsrør modstå disse processers driftsmiljø over længere perioder. Brug af Semicorex smeltede kvartsovnsrør kan i høj grad reducere risikoen for skader på det færdige produkt forårsaget af alvorlig deformation eller kollaps af kvartsovnsrør efter længere tids cyklisk brug.
Fordelene ved Semicorex smeltede kvarts ovnrør
1. Fremragende modstand mod høje temperaturer
Kvartsglashar et blødgøringspunkt på ca. 1730°C. Semicorex smeltede kvartsovnsrør understøtter langtidsdrift ved 1100°C-1200°C med kortvarig tolerance for endnu højere temperaturer.
2. Bemærkelsesværdig termisk stabilitet
Halvlederkvalitets kvartsmateriale leverer en ekstremt lav termisk udvidelseskoefficient, som gør det muligt hurtigt at afkøle dem fra høje temperaturer til stuetemperatur uden revner eller beskadigelse.
3. Stærk kemisk korrosionsbestandighed
Semicorex smeltede kvarts ovnrør har stærk kemisk korrosionsbestandighed. Bortset fra flussyre og varm phosphorsyre reagerer de næsten ikke med andre kemikalier som syrer, baser, salte.
4. Fremragende lystransmission
Udviser fremragende transmittans over det ultraviolette til infrarøde spektrum, højrent kvarts opnår over 93 % lystransmission i det synlige område. Denne enestående optiske ydeevne gør Semicorex smeltede kvartsovnsrør til den egnede mulighed for processer, der kræver optisk overvågning eller ultraviolet behandling.
Anvendelser af Semicorex smeltede kvarts ovnrør
1. Anvendes i diffusions-, oxidations- og udglødningsprocesser i halvlederfremstilling
2. Anvendes i højtemperaturreaktionsbeholderen til fremstilling af fotovoltaisk industri
3. Anvendes til fremstilling af spektrometervinduer, lasermuffer, ultraviolette optiske systemer og andre optiske applikationer.