Fusion Quartz Piedestal

Ved halvlederfremstilling fungerer Fused Quartz Piedestal som en støttestruktur for kvartsbåden, som holder waferne. Ved at opretholde en konstant temperatur hjælper det med at opnå ensartet tyndfilmaflejring, en kritisk faktor for ydeevnen og pålideligheden af ​​halvlederenheder. Sokkelen sikrer, at termisk og lysfordeling i proceskammeret er jævn, hvilket forbedrer den overordnede kvalitet af deponeringsprocessen.

Fordele ved Fused Quartz Materiale

1. Høj temperatur modstand

Fused Quartz Piedestal har et blødgøringspunkt på cirka 1730°C, hvilket gør det muligt at modstå langvarig brug ved temperaturer fra 1100°C til 1250°C. Desuden kan den tåle kortvarig eksponering for temperaturer helt op til 1450°C.

2. Korrosionsbestandighed

Fused Quartz Piedestal er kemisk inert over for de fleste syrer, med undtagelse af flussyre. Dens syrebestandighed overgår keramik med 30 gange og rustfrit stål med 150 gange. Ved forhøjede temperaturer kan intet andet materiale matche den kemiske stabilitet af smeltet kvarts, hvilket gør det til et ideelt valg til barske kemiske miljøer.

3. Termisk stabilitet

En af de iøjnefaldende egenskaber ved Fused Quartz Piedestal er dens minimale termiske udvidelseskoefficient. Denne egenskab gør det muligt for den at modstå alvorlige temperaturskift uden at revne. For eksempel kan den hurtigt opvarmes til 1100°C og derefter nedsænkes i vand ved stuetemperatur uden at blive beskadiget - en væsentlig egenskab for højstressfremstillingsprocesser.

Fremstillingsproces

Fremstillingsprocessen for Fused Quartz Piedestal er omhyggeligt kontrolleret for at sikre de højeste kvalitetsstandarder. Soklerne produceres gennem termoformning og svejseprocesser udført i renrumsmiljøer af klasse 10.000 eller højere. Efterfølgende rengøring med ultrarent vand (18 MΩ)sikrer yderligere produktets renhed og ydeevne. Hver Fused Quartz Piedestal gennemgår streng inspektion, rengøring og emballering i et renrum i klasse 1.000 eller højere for at opfylde de strenge krav til halvlederfremstilling.

Uigennemsigtigt kvartsmateriale med høj renhed

For effektivt at blokere for varme og lys anvender Fused Quartz Piedestal et uigennemsigtigt kvartsmateriale med høj renhed. Dette materiales unikke egenskaber forbedrer piedestalens evne til at opretholde en stabil og ensartet temperatur i proceskammeret og sikrer derved den ensartede kvalitet af tyndfilmsaflejring på wafere.

Bredt udvalg af applikationer

De usædvanlige egenskaber ved Fused Quartz Piedestal gør den velegnet til en række forskellige anvendelser inden for halvlederindustrien. I ALD-processer understøtter det den præcise kontrol af tyndfilmvækst på atomniveau, hvilket er afgørende for produktionen af ​​avancerede halvlederenheder. Under LPCVD-processer bidrager piedestalens termiske stabilitet og lysblokerende egenskaber til ensartet filmaflejring, hvilket forbedrer enhedens ydeevne og udbytte.

I diffusionsprocesser sikrer Fused Quartz Piedestals højtemperaturbestandighed og kemiske inerthed pålidelig og ensartet doping af halvledermaterialer. Disse processer er afgørende for at definere de elektriske egenskaber af halvlederenheder, og brugen af ​​materialer af høj kvalitet som smeltet kvarts er afgørende for at opnå optimale resultater.