Fused Quartz Ring fra Semicorex er en kritisk komponent designet specielt til halvlederætsningsprocessen med enestående renhed, termisk stabilitet og kemisk resistens. **
Anvendelserne af Semicorex Fused Quartz Ring i Semiconductor Etching
Halvlederætsningsprocessen er et afgørende trin i fremstillingen af halvlederenheder. Under ætsning fjernes specifikke områder af waferen selektivt for at skabe indviklede mønstre. Denne proces kræver materialer, der kan modstå ekstreme forhold og giver ensartet ydeevne. Fused Quartz Ring er konstrueret til at opfylde disse strenge krav, hvilket sikrer, at ætsningsprocessen er præcis, effektiv og pålidelig.
Fordele ved Semicorex Fused Quartz Ring
1. Enestående renhed
Renheden af SiO2 i Fused Quartz Ring er en af dens vigtigste fordele. Med renhedsniveauer fra 99,995 % til 99,999 % sikrer Fused Quartz Ring minimal kontaminering og ætsningsresultater af høj kvalitet. Denne høje renhed er afgørende i halvlederfremstilling, hvor selv de mindste urenheder kan påvirke ydeevnen og pålideligheden af det endelige produkt.
2. Overlegen termisk stabilitet
Fused Quartz Ring er designet til at modstå ekstreme temperaturer, med en driftstemperatur på op til 1250°C og en blødgøringstemperatur på 1730°C. Denne høje termiske stabilitet gør det muligt for Fused Quartz Ring at bibeholde sin strukturelle integritet og ydeevne under de intense varmeforhold, der almindeligvis forekommer i ætseprocessen.
3. Lav udvidelseskoefficient
Den ekstremt lave udvidelseskoefficient af Fused Quartz Ring gør den meget modstandsdygtig over for termisk stød. Denne egenskab er afgørende i ætseprocessen, hvor der kan forekomme hurtige temperaturændringer. Den lave udvidelseskoefficient sikrer, at Fused Quartz Ring forbliver stabil og pålidelig, hvilket reducerer risikoen for revner og andre termiske spændingsrelaterede problemer.
4. Kemisk resistens
Fused Quartz Ring udviser fremragende modstandsdygtighed over for syrer og baser. Denne kemiske resistens sikrer, at Fused Quartz Ring kan modstå de barske forhold under ætseprocessen, og bibeholder deres ydeevne og holdbarhed over længere perioder.
5. Mikroboblefri og lavt hydroxylindhold
Fraværet af mikrobobler og lavt hydroxylindhold i Fused Quartz Ring sikrer, at de giver ensartet og pålidelig ydeevne. Mikrobobler og højt hydroxylindhold kan føre til defekter og forurening i ætseprocessen, hvilket påvirker kvaliteten og pålideligheden af det endelige produkt.
6. Lav termisk ledningsevne og dielektrisk konstant
Fused Quartz Ring har meget lav termisk ledningsevne og dielektricitetskonstant, samt den laveste tabstangent af næsten alle kendte materialer. Den lave varmeledningsevne hjælper med at sprede varmen effektivt, hvilket reducerer risikoen for termisk skade på waferen. Den lave dielektriske konstant og tabstangens sikrer, at vores kvartsringe giver fremragende elektrisk isolering, hvilket reducerer risikoen for elektrisk interferens og forbedrer den samlede effektivitet af ætseprocessen.