GaN-on-SiC Epitaksial Wafers Carrier

Semicorex er en førende uafhængigt ejet producent af siliciumcarbidbelagt grafit, præcisionsbearbejdet højrent grafit med fokus på siliciumcarbidbelagt grafit, siliciumcarbidkeramisk, MOCVP-områder inden for halvlederfremstilling. Vores GaN-on-SiC Epitaxial Wafers Carrier har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex SiC Coating af GaN-on-SiC epitaksiale wafers Carrier er en tæt, slidbestandig siliciumcarbid (SiC) coating. Den har høje korrosions- og varmebestandighedsegenskaber samt fremragende varmeledningsevne. Vi påfører SiC i tynde lag på grafitten ved hjælp af den kemiske dampaflejring (CVD) proces.
Vores GaN-on-SiC Epitaxial Wafers Carrier er designet til at opnå det bedste laminære gasstrømningsmønster, hvilket sikrer ensartet termisk profil. Dette hjælper med at forhindre enhver forurening eller diffusion af urenheder, hvilket sikrer epitaksial vækst af høj kvalitet på wafer-chippen.
Kontakt os i dag for at lære mere om vores GaN-on-SiC Epitaxial Wafers Carrier.

Parametre for GaN-on-SiC epitaxial wafers Carrier

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Egenskaber af GaN-on-SiC epitaxial wafers Carrier

- Undgå at skalle af og sørg for belægning på alle overflader
Højtemperaturoxidationsbestandighed: Stabil ved høje temperaturer op til 1600°C
Høj renhed: Fremstillet af CVD kemisk dampaflejring under højtemperaturkloreringsbetingelser.
Korrosionsbestandighed: høj hårdhed, tæt overflade og fine partikler.
Korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
- Opnå det bedste laminære gasstrømningsmønster
- Garanterer ensartethed af termisk profil
- Undgå enhver forurening eller diffusion af urenheder