Glasagtig kulstofbelægning følte

Semicorex glasagtige kulstofbelægning Felt fungerer som et indre isoleringslag i siliciumcarbidepitaksiale reaktorer. Det er et højtydende isoleringsmateriale designet til avancerede termiske miljøer. Dette produkt overvinder typiske halvlederhøjtemperaturproduktionsudfordringer ved at tilbyde overlegne løsninger på grund af dets lette og fremragende termiske isoleringsegenskaber afGrafit følte, kombineret med overfladeintegriteten og den kemiske inertitet, der er overført af en glasagtig kulstofbelægning.

Basismaterialet er en høj renhedGrafit følteValgte for sin lave termiske ledningsevne høj temperaturstabilitet og let vægt. Normal grafitfelt har normalt overfladefiberkastning og partikelgenerering ved forhøjede temperaturer, som kan forurene procesmiljøet i følsomme epitaksiale systemer. For at afbøde dette problem er overfladen af grafitfeltet ensartet belagt med et lag glasagtige kulstof-en tæt, ikke-porøs form for kulstof kendt for sin kemiske inertitet, lav gaspermeabilitet og enestående termisk stabilitet.

Glassagtigt kulstof er et ikke-grafitiseret kulstof, der kombinerer egenskaberne ved glas og keramik. I modsætning til krystallinsk grafit er det en amorf, næsten 100% SP2-hybridiseret kulstofmateriale, der er dannet af sintraturen med høj temperatur af polymeriserede organiske forløbere, såsom phenolisk harpiks, furfurylalkoholharpiks osv. I en inert gasatmosfære. Fordi det er sort overalt og har en glat overflade, der ligner glas, kaldes det glasagtigt kulstof.

Glasagtige kulstofbelægning kan eliminere generering af ovnpartikler, give forseglede overfladeporer, have fremragende demoldende egenskaber og reducere permeabilitet, hvilket gør dette materiale meget egnet til kontinuerlige støbeforme og produkter i halvlederindustrien. Dette materiale har en bred vifte af applikationer i halvlederindustrien, især i grafitdele, såsom enkelt krystalsiliciumtrækningsudstyrskomponenter, epitaksiale vækstkomponenter, kontinuerlige støbeforme, glasforseglingsspil osv.

Glasagtige kulstof har høj temperaturresistens op til 3000 ° C i inert gas eller vakuum, og i modsætning til alle andre keramiske og metalliske materialer med høj temperatur, øges styrken af glasagtige kulstof med stigende temperatur op til 2700K, og det bliver ikke sprødt og har ekstremt høj termisk stødmodstand, så korte opvarmningstider er ikke noget problem. Derudover har glasagtig kulstof lav masse, lav varmeabsorption og lav termisk ekspansion, så det er velegnet til næsten alle høje temperaturanvendelser.

Den glasagtige kulstofbelægning spiller en afgørende rolle i forseglingen af overfladeporerne på den filiterede grafit, hvilket reducerer frigivelsen af partikler og kulstofstøv under drift. Dette er især kritisk i SIC -epitaksiale vækstprocesser, hvor selv minimal kontaminering kan kompromittere skivkvalitet og enhedsydelse. Ved at indkapsle den porøse struktur af filmen med en glat, hård glasagtig kulstofskal sikrer belægningen et rent og stabilt termisk miljø i reaktionskammeret.

De vigtigste fordele ved glasagtige kulstofbelægning filt inkluderer:

Nedsat partikeludgydelse: Den tætte belægning låser effektivt i løse fibre og partikler, hvilket forhindrer kontaminering af skiver og reaktorkomponenter.

Høj termisk stabilitet: Både grafitfeltet og glasagtige kulstof kan modstå temperaturer, der overstiger 2000 ° C i inerte eller vakuumatmosfærer, hvilket gør produktet ideelt til SIC-processer med høj temperatur.

Kemisk inertitet: Den glasagtige kulstofoverflade er resistent over for de fleste syrer og ætsende gasser, der forlænger isoleringslagets operationelle levetid under barske forhold.

Forbedret proceskonsistens: Den minimerede partikelgenerering bidrager til et mere stabilt og gentagne epitaksiale vækstmiljø, hvilket er vigtigt for at producere SIC-skiver af høj kvalitet.

Anvendelser af glasagtige kulstofbelægning følte sig primært strækker sig til SIC -epitaksiale vækstovne, hvor det bruges som et termisk isoleringslag i den varme zone. Produktet er typisk installeret som et foringsmateriale i de øvre eller nedre isoleringsstacks, hvor det giver både termisk beskyttelse og renlighedssikring.