Grafit Chuck

Semicorex Graphite Chuck er konstrueret fraSpecialiseret grafit, anerkendt for sin fremragende termiske og kemiske modstand. Et unikt eksempel på en sådan grafit -chuck, der specifikt var konstrueret fra den form for grafit, fordi det er kendt for sin meget høje modstand mod kemikalier og opvarmning. Dette gør chucks meget langvarige, og de vil udføre under de mest vanskelige forhold, der er under brug i kemisk dampaflejring (CVD) eller plasma-ætsning eller endda i en høje temperaturovn. Som sådan ville høj renhed med meget lave urenheder allerede betyde, at de ikke ville forårsage forurening under produktionen af ​​polysilicium. De er i stand til at bære temperaturer langt over 2000 ° C uden nogen bemærkelsesværdig deformation, da de er meget stabile gennem øget temperatur. Derudover har de også overlegen resistens over for de fleste kemikalier og vil derfor overleve under meget vanskelige tilstande, som i saltsyre (HCI) eller siliciumtetrachlorid (SICL4). Høj mekanisk styrke betyder endnu, at chuck er i stand til at bevare sin form, selv når den udsættes for en kontinuerlig belastning.

Grafit Chuck er kritisk i Wafer -behandling og vækst af krystaller; De spiller en primær rolle i al fremstilling på ethvert tidspunkt, som kemisk dampaflejring (CVD), hvor de sikrer ensartet siliciumaflejring. Under skæring og polering leverer de stabil støtte til skæring af skæring og overfladebehandling. I termisk behandling fungerer de som en varmebestandig base for silicium wafer-annealing og dopingprocesser, hvilket forbedrer effektiviteten og kvaliteten af ​​produktionslinjen markant.

Hvordan sikrer vi ensartetheden af ​​vores ydeevne for voresgrafit?

Først carbonisering. Vores ovn har kun 115 kubikmeter. Vores tekniske team tester temperaturfeltet for grafitprodukter i forskellige områder af hver ovn. I tilstanden med lav temperatur (0-200 °) Når temperaturen begynder at stige, vil vi kontrollere den ved ca. ± 10 °, og i tilstand med høj temperatur (over 600 °) vil vi kontrollere den ved ± 1 °. Vi tester ikke kun temperaturfeltet mellem forskellige grafitter, men tester også overfladen og den indre temperatur for hvert stykke grafitmateriale og kontrollerer det ved ± 3 °. Vi tester 8 temperaturpunkter i hver ovn i carboniseringsovnen.

Den anden er grafitisering. Når vi tager 500 kg som eksempel, vil vi også teste 8 temperaturpunkter. Prøver inspiceres tilfældigt i enhver position af det grafitiserede produkt til destruktiv test. Efter ødelæggelse testes 24 point. Tests udføres separat fra XYZ -aksen for at sikre dens ensartethed. De fleste virksomheder i branchen tester kun X -aksen eller højst XY -aksen.

Generelle producenter tester kun 6-8 point, og de bedre test 12 point, mens vi tester 24 point.

Semicorex Graphite Chuck er en uundværlig løsning for polysiliconproducenter, der søger højtydende, pålideligt og omkostningseffektivt værktøj. Med avancerede materialegenskaber og præcisionsteknik forbedrer vores produkt effektiviteten og kvaliteten af ​​siliciumskiveproduktionen i solindustrien. For mere information eller tilpassede specifikationer, kontakt os i dag.