Grafitmuller

Semicorex -grafitmuller er kritiske komponenter i halvlederproduktionsprocessen, især i krystalvækststadiet. Disse højtydende containere er konstrueret til at modstå de ekstreme forhold, der kræves for at producere silicium eller sammensatte halvlederkrystaller med høj renhed eller sammensatte halvlederkrystaller gennem metoder, såsom Czochralski (CZ) -processen eller Float Zone (FZ) -teknikken.

En vigtig funktion af grafitmuller er at modstå og understøtte ekstremt høje temperaturer, typisk over 2000 ° C, hvor tredje generation af halvledermaterialer såsom siliciumcarbid og galliumnitrid ofte syntetiseres. Crucibles lavet af grafit med høj renhed udviser fremragende modstand mod høje temperaturer, der opretholder deres fysiske og kemiske tilstande på så ekstreme niveauer uden nogen form for nedbrydning eller endda metamorfose. God termisk ledning med grafitkrukker betyder, at de ikke kun vil udføre varme ensartet, men også indstille et stabilt temperaturfelt. Dette kommer i spil afgørende under smeltnings- og krystallisationsprocesserne, da ensartet temperaturfordeling tillader vækstmateriale under mere eller mindre ækvivalente betingelser, hvilket reducerer krystaldefekter og tillader halvlederkrystaller af høj kvalitet.

I siliciumcarbid- eller galliumnitridkrystallvækstprocesser (såsom dampfase -epitaxy CVD eller fysisk damptransport PVT) bruges grafitmuller til at holde råvarer og tilvejebringe et kontrolleret vækstmiljø. Den kemiske inertitet af digelen sikrer, at den ikke kemisk reagerer med halvledermaterialet ved høje temperaturer og derved opretholder materialets høje renhed. På samme tid hjælper den gode termiske ledningsevne af grafitgrafen med at danne en ensartet temperaturgradient, hvilket giver ideelle betingelser for krystalvækst og reducerer urenheder og strukturelle defekter.

Den kemiske inertitet af grafitmuller er en nøglefunktion i oprensningen af halvledermaterialer. Dets grafitmateriale med høj renhed kan isolere ekstern forurening og forhindre urenheder i at komme ind i det smeltede halvledermateriale. Overfladen af grafitmullen kan også coates (såsom siliciumcarbidbelægning) for at forbedre dens oxidationsmodstand og korrosionsbestandighed, hvilket yderligere sikrer høj renhed og høj stabilitet i produktionsprocessen.