Grafit elektrode

Semicorex Graphite Electrode er en præcisionsfremstillet grafitkomponent til brug i termiske halvlederapplikationer, hvor elektrisk ledningsevne, termisk stabilitet og dimensionsnøjagtighed er altafgørende. Faktisk bruges disse typer elektroder i højtemperaturovne, epitaksereaktorer og termiske behandlingskamre, hvilket letter stabil strømledning, varmeoverførsel og stabilitet under aggressive temperatur- og atmosfæreforhold. På grund af den ekstreme renhed, ensartethed af den faste struktur og høje mekaniske egenskaber af Semicorex grafitelektroder, kan de levere pålidelig termisk ydeevne som varmeelementer i krævende halvlederapplikationer

Grafit-eletroden er fremstillet af finkornet grafitmateriale af høj kvalitet, hver af dem er fremstillet ved hjælp af en avanceret sekvens af ekstrudering, højtemperatur-karbonisering og grafitisering. Grafitmikrostrukturen er designet til omtrent konstant elektrisk resistivitet, høj termisk ledningsevne og mekanisk stabilitet. Slutproduktet er en termisk leder med høj renhed, der opretholder en fysisk tilstand og en ensartet strømfordeling i højeffektmiljøer samt hurtige temperaturudsving.

Ultra Performance i voresgrafit

Vores grafit garanterer ensartet ydeevne overlegen. For det første har vores ovne under karboniseringsprocessen kun 115 kubikmeter. Vores tekniske team overvåger temperaturfeltet for grafitprodukter i forskellige områder af hver ovn. Ved det indledende lavtemperaturstadium (0-200°C) styrer vi temperaturen inden for ±10°C og ved høje temperaturer (over 600°C) inden for ±1°C. Vi overvåger ikke kun temperaturfeltet mellem forskellige grafitpartikler, men også overfladen og den indre temperatur af hvert enkelt grafitstykke og kontrollerer det inden for ±3°C. Vi overvåger 8 temperaturpunkter i hver karboniseringsovn.

For det andet, under grafitiseringsprocessen, tager vi et 500 kg batch som eksempel, overvåger vi også 8 temperaturpunkter. Efter grafitisering prøver vi tilfældigt og tester destruktivt 24 punkter langs X-, Y- og Z-akserne for at sikre ensartethed. De fleste virksomheder i branchen tester kun X-aksen, eller højst XY-aksen, hvor typiske producenter kun tester 6-8 point, og bedre tester 12 point. Vi tester 24 point.

Semicorex Graphite Electrode er en præcisionsfremstillet grafitkomponent til brug i termiske halvlederapplikationer, hvor elektrisk ledningsevne, termisk stabilitet og dimensionsnøjagtighed er altafgørende. Faktisk bruges disse typer elektroder i højtemperaturovne, epitaksereaktorer og termiske behandlingskamre, hvilket letter stabil strømledning, varmeoverførsel og stabilitet under aggressive temperatur- og atmosfæreforhold. På grund af den ekstreme renhed, ensartethed af den faste struktur og høje mekaniske egenskaber af Semicorex grafitelektroder, kan de levere pålidelig termisk ydeevne som varmeelementer i krævende halvlederapplikationer

Semicorex grafitelektroder har enestående elektrisk ledningsevne, som letter effektiv strømforsyning med minimale tab, og de har fremragende termisk ledningsevne, hvilket tillader hurtig ensartet varmeoverførsel i ovnen. Kombinationen af ​​lav termisk udvidelse og høj mekanisk styrke reducerer deformation og revner under termisk cykling, hvilket giver stabil adfærd over lang levetid. Hver elektrode er bearbejdet til stringente dimensionelle tolerancer og fin overfladefinish for at sikre ensartet kontakt og ubetydelig elektrisk modstand ved kontaktfladen.

Med de specifikke krav til halvlederprocesser i tankerne, kan Semicorex udvikle specialdesignede elektrodedesigns, der passer til enhver ovnkonfiguration og strømspecifikation. Forskellige diametre, længder, typer af forbindelser eller overfladefinish kan stilles til rådighed. Når det er nødvendigt, kan belægningsmaterialer, såsom SiC eller pyrolytisk carbon, påføres for at understøtte oxidationsmodstand og levetid i miljøer med højt iltindhold eller reaktive gasser.

Den høje renhed afgrafit materialetjener til at sikre utroligt lave niveauer af metalliske urenheder (og gasformige urenheder), ofte mere end 99,999% kulstof. Sådanne lave niveauer af urenheder hjælper med at undgå kontaminering af halvlederwafere under termisk behandling. Kombineret med den betydelige dybde af bearbejdning og poleret overfladefinish opfylder Semicorex grafitelektroder både den mekaniske og kemiske stabilitet af state-of-the-art wafer-fremstillingsteknologier.

Uanset om den bruges i diffusionsovne, epitaksiale reaktorer eller højtemperaturbehandlingsudstyr, giver Semicorex grafitelektroden uovertruffen ydeevne i de mest krævende termiske miljøer. Ved at kombinere høj renhed, præcis geometri og avanceret materialebearbejdning leverer Semicorex en elektrodeløsning, der sikrer stabil strømledning, ensartet opvarmning og langsigtet driftssikkerhed, der er afgørende for næste generations halvlederfremstilling.