Grafitvarmer til varm zone

Homogen temperaturfordeling:Graphite Heater For Hot Zone er kendt for sine ensartede varmeegenskaber, opnået gennem en kombination af omhyggelig materialebearbejdning og præcisionsbearbejdning. Denne homogenitet sikrer en ensartet temperaturprofil på tværs af hele varmeoverfladen, hvilket minimerer termiske gradienter, der kan føre til ujævn waferbehandling, reduceret udbytte og inkonsistent enhedsydelse.

Enestående korrosionsbestandighed:Grafitvarmeren til varm zone demonstrerer bemærkelsesværdig modstandsdygtighed over for en række ætsende gasser og kemikalier, der almindeligvis forekommer i højtemperatur-halvlederbehandling. Denne iboende inertitet sikrer langsigtet opvarmningsstabilitet og ydeevne, minimerer forureningsrisici og forlænger driftslevetiden.

Overlegen oxidationsmodstand:I modsætning til konventionel grafit præsenterer Graphite Heater For Hot Zone overlegen modstandsdygtighed over for oxidation, selv ved høje temperaturer. Denne egenskab er afgørende for at opretholde varmelegemets integritet og forhindre dannelsen af ​​partikelforurening i behandlingskammeret.

Ultrahøj kemisk renhed:Graphite Heater For Hot Zone bearbejdes for at opnå ultrahøje renhedsniveauer, hvilket minimerer risikoen for at introducere uønskede forurenende stoffer i halvlederbehandlingsmiljøet. Denne enestående renhed er afgørende for at bevare integriteten af ​​sarte halvledermaterialer og sikre de ønskede elektriske og optiske egenskaber for fremstillede enheder.

Høj mekanisk styrke og stabilitet:Graphite Heater For Hot Zone besidder fremragende mekanisk styrke og dimensionsstabilitet ved forhøjede temperaturer, hvilket muliggør fremstilling af robuste varmelegemekomponenter, der er i stand til at modstå belastningen ved højtemperaturdrift, herunder termisk cykling og mekanisk belastning.