Vandret waferkassette

Materialeegenskaber

Semicorex Horizontal Wafer Cassette er et vigtigt værktøj i halvlederindustrien til at beskytte og håndtere wafers i forskellige faser af produktionen. Ofte kaldet wafer-bærere, er disse kassetter designet til at holde og flytte flere wafers af samme størrelse. De sikrer fremragende ydeevne under en række produktionsforhold ved at opfylde specifikke proceskrav, såsom termisk behandling, og er tilgængelige i en lang række materialer.

Forskellige materialevalg

Horisontale waferkassetter kommer i en række højtydende materialer for at tilfredsstille de forskellige krav til halvlederfremstilling. Disse giver enestående kemisk resistens og termisk stabilitet og inkluderer PVDF, ECTFE Halar, PFA Teflon og PTFE Teflon. Valgmuligheder af rustfrit stål som 304L og 316 anbefales til applikationer, der kræver øget mekanisk styrke og modstandsdygtighed over for korrosion. Naturlig polypropylen bruges også på grund af dets økonomiske og lette egenskaber, som giver mulighed for fleksibilitet i påføringen, samtidig med at integriteten af ​​waferhåndteringsproceduren bevares.

Funktioner i avanceret design

Med egenskaber, der kan justeres for at opfylde visse driftskrav, er vandrette waferkassetter omhyggeligt konstrueret. Disse består af sideåbningsprofiler, underlagets kontaktpunkter, underlagets stigning og afstand samt størrelser og former, der kan ændres. Deres tilpasningsevne i en række forskellige processer øges af deres alsidighed i substratorientering og kapacitet til at håndtere en række substratstørrelser. Desuden kan automatiseringsfunktioner og kassettehåndteringsfunktioner, såsom aftagelige håndtag for øget bekvemmelighed, tilføjes til disse kassetter.

Ansøgninger

I halvlederfremstilling er brugen af ​​horisontale waferkassetter afgørende for at garantere sikker og effektiv håndtering af wafers i en række forskellige procedurer.

Horisontale waferkassetter er lavet af robuste materialer af høj kvalitet og tilbyder et stærkt forsvar mod fysisk skade og forurening, to store problemer i halvlederindstillinger. Kassetternes arkitektur beskytter de skrøbelige wafere under opbevaring og transport ved at reducere eksponeringen for eventuelle forurenende stoffer.

Forbedret rengøring og tørring

Bedre vaske- og tørreresultater er muliggjort af det enorme åbningsområde i designet af vandrette waferkassetter. Denne egenskab er afgørende for at bevare waferens renhed, hvilket mindsker muligheden for fejl og forbedrer kaliberen af ​​de færdige halvlederenheder.

Effektivitet af kemisk flow og behandling

For at minimere materialefælder og maksimere kemisk gennemstrømningsdynamik er vandrette waferkassetter designet. For at forbedre kemikaliegennemstrømningen og garantere fuldstændig dækning og effektiv behandling i kemikaliebade kan der tilføjes en række ekstra funktioner.

Sikker transport og justering af wafers

Det horisontale Wafer Cassette-design er kendetegnet ved præcis wafer-justering, som garanterer, at wafers holdes fast på plads under transport. Dette mindsker muligheden for brud eller fejljustering, hvilket kan resultere i dyre fejl eller forsinkelser i processen. Waferhåndtering skal udføres sikkert for at bevare integriteten af ​​halvlederfremstillingsprocessen.

Effektivitet i Workflow og Ergonomi

Horisontale waferkassetter er nemme at bruge og effektive på grund af deres ergonomiske design, som strømliner på- og aflæsningsproceduren. I renrumsindstillinger forbedrer denne enkelhed i brugen workfloweffektiviteten, hvilket muliggør mere effektive processer og mindre håndteringstid. Producenter af halvledere kan øge effektiviteten og opretholde strenge renhedsstandarder ved at forenkle disse procedurer.