Indre styrerør

Semicorex indre styrerør er en præcisionskonstrueretkulstof/kulstof (C/C) komponentdesignet til avancerede termiske feltapplikationer ved høje temperaturer, især i væksten af ​​siliciumkrystaller med høj renhed. Som et kritisk element i krystalvækstovne spiller denne komponent en central rolle i at forme og stabilisere den termiske gradient, hvilket sikrer optimal krystaldannelse og ensartet materialekvalitet.

Fremstillet af kulfiberforstærket kulstofkomposit med høj densitet tilbyder det indre styrerør enestående strukturel integritet og termisk stabilitet under ekstreme forhold. Med en densitet på ≥1,35 g/cm³ og en bøjningsstyrke på ≥110 MPa bevarer den mekanisk robusthed selv under længere tids udsættelse for høje temperaturer. Disse egenskaber er essentielle i siliciumproduktion af halvlederkvalitet, hvor selv mindre udsving i termiske forhold kan påvirke krystalens ensartethed og defektrater væsentligt.

Kernefunktionalitet: Præcisionsgradientkontrol

Den primære rolle for C/C indre styrerør er at konstruere et præcist gradient temperaturfelt. Under siliciumkrystalvækstprocessen placeres den direkte over smelten for at:

Direkte gasstrøm: Det styrer strømmen af ​​inert argongas og sikrer, at siliciumoxiddampe (SiO) effektivt fejes væk fra smelteoverfladen, hvilket forhindrer iltforurening i krystallen.

Termisk afskærmning: Den beskytter den voksende krystal mod direkte varmestråling fra diglens vægge og etablerer den stejle aksiale temperaturgradient, der er nødvendig for højhastigheds-, højkvalitets-krystaltræk.

Energieffektivitet: Ved at koncentrere varmen i smeltezonen og isolere de øvre ovnkomponenter reducerer det det samlede strømforbrug markant.

Tekniske specifikationer & materiale fremragende

Vores indre styrerør er fremstillet med høj tæthedKulstof/kulstof kompositter, hvilket giver et overlegent alternativ til traditionel grafit. Materialeegenskaberne er optimeret til de ekstreme forhold i halvledervakuumovne:

Massefylde: ≥ 1,35 g/cm³

Bøjestyrke: ≥ 110 MPa

Termisk udvidelseskoefficient (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Termisk ledningsevne (rumtemperatur): ≤ 10 W/(m·K)

Industri

Efterhånden som industrien bevæger sig mod større waferstørrelser (300 mm og 450 mm), stiger kravene til det termiske felt eksponentielt. Vores indre styrerør er kompatible med store CZ-ovne og kan tilpasses med hensyn til geometri og belægning.