Monokrystallinsk silicium epitaksial susceptor

Semicorex ultra-ren Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor, perfekt til grafitepitaxi og waferhåndteringsprocesser, sikrer minimal kontaminering og yder en usædvanlig lang levetid. Vores produkter har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor er et grafitprodukt belagt med højoprenset SiC, som har høj varme- og korrosionsbestandighed. Den CVD-siliciumcarbidbelagte bærer, der anvendes i processer, der danner det epitaksiale lag på halvlederskiver, som har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.
Vores monokrystallinske epitaksiske siliciumsusceptor er designet til at opnå det bedste laminære gasstrømningsmønster, hvilket sikrer ensartet termisk profil. Dette hjælper med at forhindre enhver forurening eller diffusion af urenheder, hvilket sikrer epitaksial vækst af høj kvalitet på wafer-chippen.
Kontakt os i dag for at lære mere om vores Monokrystallinske Silicium Epitaxial Susceptor.

Parametre for monokrystallinsk silicium epitaksial susceptor

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC Î² fase
Massefylde	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	Î¼m	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300â)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Varmeledningsevne	(W/mK)	300

Funktioner af monokrystallinsk silicium epitaksial susceptor

- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har god densitet og kan spille en god beskyttende rolle i høje temperaturer og korrosive arbejdsmiljøer.
- Siliciumcarbidbelagt susceptor, der bruges til enkeltkrystalvækst, har en meget høj overfladeplanhed.
- Reducer forskellen i termisk udvidelseskoefficient mellem grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget, forbedrer effektivt bindingsstyrken for at forhindre revner og delaminering.
- Både grafitsubstratet og siliciumcarbidlaget har en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.
- Højt smeltepunkt, høj temperatur oxidationsbestandighed, korrosionsbestandighed.