Hvor avancerede materialer løser 3 kritiske udfordringer i halvlederovnens design

Løbet om at krympe transistorstørrelser og skala -solcelleeffektivitet skubber termisk behandlingsudstyr til dets grænser. Hos Semicorex har vi brugt to årtier på at samarbejde med førende halvleder- og PV -producenter for at tackle et tilbagevendende smertepunkt: Når standardmaterialer mislykkes under ekstreme forhold, kan hele produktionsbatches kompromitteres.

CVD -belægninger: rustningen til proceskomponenter

Kemisk dampaflejring (CVD) belægninger som siliciumcarbid (SIC) og tantalcarbid (TAC) revolutionerer komponentens levetid i barske miljøer:

Sic coatingFordele:

Modstands temperaturer op til 1.650 ° C i inerte atmosfærer

Reducerer partikelforurening i epitaksiale vækstreaktorer

Udvider levetiden for grafitføltere med 3-5x

TAC -belægningI diffusionsbarrierer:

Forhindrer smeltet siliciuminfiltration i digler (99.999% renhedsretention)

Minimerer Wafer Warpage under hurtig termisk behandling (RTP)

Når temperaturerne overstiger 1600 ° C: CVD -belægningsfordelen

Dette er ikke magi - det er materialevidenskab. Vores proprietære CVD-proces aflejrer både SIC- og TAC-belægninger med atomniveau-præcision, hvilket skaber overflader, der:

Modstå siliciumdampkorrosion 3x længere end standardbelægninger

Oprethold <0,5 um tykkelsesvariation på tværs af komplekse geometrier

Fjern coating delaminering selv under termisk cykling

Den tavse krise i termisk ensartethed

I krystalvækstovne kan inkonsekvent temperaturfordeling gøre en $ 250.000 siliciumindgang til skrot. Gennem materielle innovationer som:

Densitetsklasset grafit filt (0,18-0,25 g/cm³ gradientdesign)

Carbon-carbonkompositisolatorer med <2% termisk ekspansion anisotropi

... vi har hjulpet klienter med at opnå:

✔ ± 1,5 ° C Axial temperaturuniformitet i 300 mm Czochralski -systemer

✔ 40% hurtigere afkølingshastigheder uden ingot revner

Hvorfor kvarts renhed betyder mere end nogensinde

Når et Tier-1 MEMS-støberi spores partikeldefekter til deres ætsningskammerforinger, smeltede vores boblefri fusede kvartsopløsning:

Nedsat metalforurening med 89% (ICP-MS-analyse)

Udvidede forebyggende vedligeholdelsesintervaller fra 3 til 8 måneder

Opnåede 99,999% indledende renhed med <0,1 ppb alkali metalindhold

Ud over specifikationer: Application Engineering betyder noget

Mens tekniske specifikationer giver sammenligninger af baseline, afhænger den virkelige verden ydeevne af:

• Materiale -process -kobling - Hvordan komponenter interagerer med specifikke kemik (f.eks. Cl₂ vs. SF₆ plasmer)

• Fejltilstandsbiblioteker - Vores database over 1.200+ komponentfejl sager informerer materialevalg

• Brugerdefineret klassificering - Justering af grafitporøsitet/ledningsevne på tværs af del tværsnit

Semicorex tilbyder høj kvalitetTantalcarbidbelagtogSiliciumcarbidbelagtTilpassede dele. Hvis du har nogen forespørgsler eller har brug for yderligere detaljer, så tøv ikke med at komme i kontakt med os.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com