Halvleder keramiske dele

Halvleder keramiske dele hører til avanceret keramik og er en uundværlig del af halvlederproduktionsprocessen. Råmaterialerne til tilberedning er normalt høj-puritet, ultra-fine uorganiske materialer, såsom aluminiumoxid, siliciumcarbid, aluminiumnitrid, siliciumnitrid, yttriumoxid, zirkoniumoxid osv.

Aluminiumoxid

Det er vidt brugt, og produktets ydeevne varierer afhængigt af renheden. 95% renhed er lysegul, og 99% renhed er snehvid. Det har fremragende stivhed, styrke, slidstyrke, høj temperaturresistens og korrosionsbestandighed og kan bruges til at forberede de fleste halvleder keramiske dele, såsom keramiske dyser, keramiske arme osv.

Siliciumcarbid

Det er sort, har høj termisk ledningsevne, høj styrke og hårdhed, let vægt, god chokmodstand og bruges ofte til at tilberede vakuumarme og vakuumsugekopper.

Aluminiumnitrid

Det har høj termisk ledningsevne, en termisk ekspansionskoefficient, der matcher silicium, en lav dielektrisk konstant og dielektrisk tab, og kan bruges til at fremstille varmeafledningssubstrater, keramiske dyser osv.

Siliciumnitrid

Højt smeltepunkt, ultrahøj hårdhed, høj kemisk inertitet, lav termisk ekspansionskoefficient, høj termisk ledningsevne, god termisk stødmodstand, høj påvirkningsmodstand og styrke under 1200 ℃, ofte brugt til at fremstille keramiske underlag, keramiske rør osv.

Yttriumoxid

Højt smeltepunkt, godt kemisk og fotokemisk stabilitet, høj termisk ledningsevne, god lysoverførsel, ofte kombineret med aluminiumoxid for at fremstille keramiske vinduer.

Zirconiumoxid

Høj mekanisk styrke, høj temperaturresistens, syre- og alkali -resistens, god isolering, ifølge forskellige indhold kan fremstilles af keramiske produkter til forskellige formål, såsom integrerede kredsløbssubstrater osv.

Typer af dele:

"All-rounder" halvleder keramiske dele med forskellige funktioner er vidt brugt i forskellige typer halvleder nøgleudstyr, hovedsageligt inklusive følgende:

Halvleder keramisk arm

Spiller en rolle i halvlederudstyr, når man transporterer skiver, og skal arbejde i et vakuumrent miljø. Normalt tilberedt med aluminiumoxid eller siliciumcarbid med høj renhed er aluminiumoxid omkostningseffektiv og bruges mere.

Keramisk underlag

Påført inden for forskellige elektroniske emballagefelter, såsom elektroniske enheder, lasere osv., Og tilberedes ofte med materialer såsom aluminiumoxid og siliciumnitrid.

Keramisk dyse

I HDP-CVD påvirker dens kvalitet renheden og strømningshastigheden for reaktionsgassen. Aluminium nitridkeramik er mere velegnede til avanceret procesudstyr på grund af deres fremragende ydelse.

Keramisk vindue

Det er en nøglekomponent i Semiconductor Etcher. Det kan forsegles vakuum uden at påvirke plasmaindtrængningen. Det er normalt lavet af aluminiumoxid og yttriumoxid med høj renhed.

Keramisk kammerafdækning

Det er en nøglekomponent i det tynde filmaflejringsudstyr, som er afgørende for at sikre kvaliteten af ​​skiven og forseglingen af ​​reaktionskammeret.

Keramisk vakuum Chuck

Det bruges til at placere og klemme siliciumskiven. Det er en porøs keramik lavet af to keramiske materialer.

Forberedelsesproces:

Forberedelsesprocessen for "håndværk" halvleder keramiske dele er kompliceret, hovedsageligt inklusive følgende trin:

Pulverforberedelse

Råmaterialerne skal oparbejdes, og det rå pulver, der opfylder kravene, opnås gennem batching, mekanisk kuglefræsning, spraytørring og andre processer.

Pulverstøbning

Tørpresning, isostatisk presning, båndstøbning, injektionsstøbning, støbning af gelinjektion og andre metoder bruges ofte til at gøre pulveret til keramisk grøn krop.

Sintring med høj temperatur

Den keramiske grønne krop omdannes til en tæt kogt krop gennem normal tryksintering, vakuumsintring, atmosfære sintring og andre metoder.

Præcisionsbearbejdning

Den sintrede keramiske kogte krop behandles med CNC -drejebænke, slibemaskiner osv. For at opnå den krævede størrelse og præcision.

Kvalitetsinspektion

Udseende, størrelse, porøsitet, ruhed og andre egenskaber ved keramiske dele testes for at sikre produktkvalitet.

Overfladebehandling

Overfladen af ​​de produkter, der passerer kvalitetsinspektionen, rengøres, og yderligere overfladebehandling er påkrævet til særlige behov, såsom buesprøjtning, plasmasprøjtning osv.

Semicorex tilbyder høj kvalitetKeramiske delei halvleder. Hvis du har nogen forespørgsler eller har brug for yderligere detaljer, så tøv ikke med at komme i kontakt med os.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com