Introduktion af aluminiumoxidmateriale

Aluminiumoxid keramikKomponenter har fremragende egenskaber, såsom høj hårdhed, høj mekanisk styrke, super slidstyrke, høj temperaturresistens, høj resistivitet og god elektrisk isoleringsydelse. De kan opfylde de komplekse ydelseskrav til fremstilling af halvleder i specielle miljøer såsom vakuum og høj temperatur. De spiller en uerstattelig og vigtig rolle i produktionslinjer i halvlederfremstilling. Deres applikationer dækker næsten alt halvlederfremstillingsudstyr og er nøglekomponenter i halvlederproduktionsudstyr. Med den kontinuerlige udvikling af halvlederindustrien vil vigtigheden af aluminiumoxid -keramiske komponenter i den industrielle kæde blive mere fremtrædende.

Efterhånden som chipfunktionsstørrelsen falder, har halvlederudstyr strengere krav til komponenter, og dens densitet, ensartethed, korrosionsbestandighed osv. Er det nødvendigt at være højere. I de senere år har indenlandske og udenlandske lærde udviklet en række nye processer til forbedring af sintringsbetingelserne for keramiske materialer med aluminiumoxid, så de kan opnå hurtig fortætning af materialer ved lavere sintringstemperaturer, såsom selvforplantning af høje temperatur-sintring, flash-sintring, kold sintring og oscillerende tryk sinintering. Blandt dem er kold sintring at tilsætte et kortvarigt opløsningsmiddel til pulveret og påføre et stort tryk (350 ~ 500MPa) for at forbedre omarrangementet og diffusionen mellem partikler, så det keramiske pulver kan sintres og fortættes ved en lavere temperatur (120 ~ 300 ℃) og en kortere tid.

På nuværende tidspunkt har den globale integrerede kredsløbsproduktion udviklet sig til en mere avanceret proces på 3-nanometerniveau. Halvlederudstyr og halvlederudstyrets præcisionskomponenter skal kontinuerligt udvikles og opgraderes, og der skal foretages procesforbedringer for at imødekomme nedstrømsfremstillingsbehov. Når halvlederudstyr er opdateret, ændres de specifikke krav til nyt udstyr til komponenter synkront. Med udviklingen af halvlederteknologi bliver ydelseskravene til aluminiumoxid -keramiske komponenter højere og højere, herunder højere slidstyrke, høj temperaturresistens og bedre elektrisk isolering. Industriens tendenser har en tendens til at udvikle højere renhed, finere strukturaluminiumoxidpulvermaterialer og vedtage avancerede forberedelsesteknologier.

Aluminiumoxid keramikHar meget høje renhedskrav, når de bruges i halvlederfeltet, generelt større end 99,5%. I halvlederfeltet er keramiske dele af aluminiumoxid en af de vigtigste dele af halvlederudstyr. De fleste af dem bruges i kamre tættere på skiven. I halvlederudstyr klassificeres de ved brug og er hovedsageligt opdelt i ringformede cylindre, luftstrømguider, bærende faste, håndgribede pakninger, moduler osv.

I ætsningsprocessen for at reducere kontamineringen af skiven under plasma-ætsning vælges aluminiumoxidbelægninger med høj renhed eller aluminiumoxid-keramik med stærk korrosionsbestandighed som beskyttelsesmaterialer til ætsekammeret og kammerforingen.

I plasma -rengøringsprocessen anvendes ilkrosive gasser indeholdende stærkt reaktive halogenelementer, såsom fluor og klor. Gasdysen er normalt lavet af aluminiumoxid-keramik, som er påkrævet for at have høj plasmamodstand, dielektrisk styrke og stærk korrosionsbestandighed mod procesgasser og biprodukter. På samme tid bruges den interne præcisionshulstruktur til nøjagtigt at kontrollere gasstrømmen.

I halvlederfremstillingsprocessen kan skiven gennemgå behandling af høj temperatur, såsom ætsning, ionimplantation osv. Som bærer til skive transmission, kan aluminiumoxidisk skivebærere sikre stabiliteten og sikkerheden af skiven under transmissionsprocessen. Aluminiumoxidskiverbæreren har god termisk ledningsevne og kan effektivt sprede og eksportere varmen, der genereres af skiven, og derved beskytte skaden mod termisk skade.

I håndteringen af skiver vil der blive brugt en keramisk robotarm lavet af aluminiumoxid -keramik. Det installeres på en Wafer -håndteringsrobot, der svarer til robotens hånd. Det er ansvarlig for at bære skiven til det udpegede sted, og dens overflade er i direkte kontakt med skiven. Da skivere er ekstremt modtagelige for forurening af andre partikler, udføres de generelt i et vakuummiljø. I dette miljø har robotarme af de fleste materialer generelt vanskeligt at afslutte arbejdet. Materialerne, der bruges til at gøre robotarmene, skal være resistente over for høje temperaturer, slidbestandige og har høj hårdhed. På grund af kravene til arbejdsvilkår er de generelt lavet af ekstremt høj-renhed aluminiumoxid-keramiske materialer, og nøjagtigheden og overfladen for keramiske dele skal garanteres.

Semicorex tilbyder høj kvalitetAluminiumoxid keramiske deleI halvleder, inklusive SIC -overtræk og TAC -belægninger. Hvis du har nogen forespørgsler eller har brug for yderligere detaljer, så tøv ikke med at komme i kontakt med os.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com