Hvad er hakket på wafers?

Vaffelhakket er en V-formet eller U-formet rille på kanten af ​​enhalvlederwafer. Langt fra at være en defekt, der er opstået under fremstillingsprocessen, er det den kritiske strukturelle markør, der blev designet med vilje, hvis kernefunktion ligger i at muliggøre præcis positionering og orienteringsidentifikation af waferen. Wafer flat blev brugt som orienteringsmarkering i de tidlige stadier af waferteknologiudvikling. Men efterhånden som waferstørrelserne gradvist blev større, optog det flade kantdesign et mere effektivt areal og blev således gradvist erstattet af det mere kompakte hak.

Hvad er funktionen af ​​waferhakket? 

Chipfremstilling er en proces i nanometerskala, hvor enhver retningsafvigelse kan føre til kredsløbsfejl. Tjener som en orienteringsmarkering, wafer-hakket muliggør litografi og ætsemaskiner hurtigt at identificere krystalorienteringen af ​​waferen, hvilket sikrer nøjagtig justering af hvert procestrin. Hver chip er placeret på waferen i henhold til et hak, der ligner prime meridianen. Dette geniale design gør det muligt at litografiere kredsløbsmønstre og lægge ud med indhakket som referencedatum. Derudover er robotarme afhængige af wafer-hakket til at skelne waferens for-/bagside og orientering i en højautomatiseret produktionslinje, som i væsentlig grad forhindrer wafer-skader eller procesfejl forårsaget af fejlbetjening. Skulle hakket blive forurenet eller beskadiget, kan hele waferen blive afvist som ikke-overensstemmende.

Wafer-hakket spiller også en afgørende rolle i at forbedre spånfremstillingsudbyttet. Da waferkanter er tilbøjelige til defekter såsom glidelinjer og revner under fremstillingen, gør præcis positionering via indhak det muligt for udstyr nøjagtigt at undgå disse defekte områder og dermed reducere spild. Moderne produktionslinjer anvender også teknologier såsom rotation af luftaffjedring til kantsøgende operationer. Tjener som en markør for berøringsfri detektion, wafer-hakket undgår ikke kun kontaminering forårsaget af mekanisk kontakt, men forbedrer også identifikationseffektiviteten og nøjagtigheden.

Semicorex giverhøjkvalitets wafers. Hvis du har spørgsmål eller brug for yderligere detaljer, så tøv ikke med at kontakte os.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com