Porøs alumina vakuum chuck

Vakuumpatronen er forbundet til vakuumudstyret via et forbindelsesrør. Når vakuumpatronen kommer i kontakt med emnet, såsom en wafer/tyndt filmmateriale, begynder vakuumudstyret at arbejde, hvilket skaber et undertryk inde i vakuumpatronen. Under atmosfærisk tryk klæber emnet fast til vakuumpatron, hvilket muliggør bearbejdning. Efter at behandlingen er afsluttet, holder vakuumudstyret op med at arbejde og fylder langsomt vakuumpatron med gas, hvilket automatisk adskiller emnet fra patronen. Dette afslutter opspændingen, bearbejdningen og håndteringen af ​​emnet.

Kernemålet med halvlederfotolitografi er at "printe" milliarder af transistorkredsløbsmønstre på en wafer med præcision på nanometerniveau. Essensen af ​​"fotolitografi" er at bruge en lyskilde til at bestråle meget lysfølsom fotoresist, hvilket forårsager en kemisk reaktion, der ætser kredsløbet. Men når lyskilden bestråler waferen, skinner den uundgåeligt også på den elektrostatiske chuck, der fungerer som wafer-bærer. Det resulterende reflekterede sekundære lys kan interferere med fotolitografiprocessen, forårsage eksponering i utilsigtede områder og beskadige kredsløbet. Derfor minimerer en sort overflade til vakuumpatron refleksion, hvilket sikrer præcisionskravene til fotolitografisystemet. Baseret på denne egenskab kan sort alumina bruges i vid udstrækning, ikke kun i elektrostatiske patroner, men også i "lysundertrykkende" scenarier. Fremkomsten af ​​AI-æraen har muliggjort en betydelig udvikling inden for optiske kommunikationsapplikationer, og sorte aluminiumoxidsubstrater ses ofte i emballagen af ​​optoelektroniske enheder og lysemitterende elementer.

Sort alumina keramiker primært fremstillet af Al2O3, tilsat overgangsmetaloxider som farvestoffer og sintringshjælpemidler, sintret ved en bestemt temperatur. Farvestoffet er en afgørende komponent i denne type keramik, der bestemmer dens endelige farve. Når du vælger farvestoffer til vakuumpatron, er det vigtigt at sikre graden af ​​farve, mekanisk styrke, porøsitet og porestørrelse af vakuumpatron.

I øjeblikket omfatter almindeligt anvendte overgangsmetaloxider som farvestoffer både indenlandsk og internationalt Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 og MnO2, hvor Fe2O3, CoO, NiO og MnO2 er de mest udbredte. Fordi aluminiumoxid er mindre flygtigt ved høje temperaturer, mens overgangsmetaloxider er det modsatte, stiger deres flygtighed med temperaturen. Disse oxider danner forbindelser af spineltypen under højtemperatursintring, hvilket reducerer deres flygtighed. For at undertrykke fordampningen af ​​overgangsmetaloxider bør passende procesbetingelser derfor vælges for at tillade dem at kombineres til spinel-type forbindelser ved lavere temperaturer.

Semicorex tilbyder toldporøs keramisk vakuumpatron. Hvis du har spørgsmål eller brug for yderligere detaljer, så tøv ikke med at kontakte os.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com