> Nyheder > Industri nyheder

Semicorex Keramik anvendt i halvlederbehandling

● 2026-05-27 ● - ● Efterlad mig en besked

Med teknologiens fremskridt er smarte produkter som mobiltelefoner, computere, elektriske køretøjer og robotter blevet integreret i folks liv. Disse produkter indeholder et stort antal halvlederchips, og chipfremstilling kræver halvlederudstyr, såsom ætsemaskiner, litografimaskiner og ionimplantater. Åbning af en halvlederenhed afslører, at de fleste af dens komponenter er keramiske dele. Keramiske dele har fremragende egenskaber såsom høj temperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, høj præcision og høj styrke, hvilket gør dem velegnede til brug i halvlederudstyr. De fleste keramiske dele, som nøglekomponenter i halvlederfremstillingsprocesser, kontakter waferen direkte, hvilket muliggør højpræcisionskontrol og hurtig opvarmning og afkøling af waferens overfladetemperatur.

Halvlederkeramiske dele hører til avanceret keramik, og de involverede keramiske materialer omfatter typisk aluminiumoxid, siliciumcarbid, aluminiumnitrid, siliciumnitrid og yttriumoxid. Keramiske produktformningsmetoder omfatter typisk tørpresning, tapestøbning, sprøjtestøbning, varm isostatisk presning, kold isostatisk presning, slipstøbning, ekstruderingsstøbning, varm trykstøbning, gelstøbning og direkte størkningsstøbning.

1. Tørpresninger

Tørpresning er en almindelig proces til fremstilling af halvlederkomponenter. Denne proces involverer primært at hælde granuleret pulver med en passende partikelstørrelsesfordeling i et metalformhulrum, hvor der påføres tryk med et trykhoved. Trykhovedet bevæger sig inde i formhulrummet, overfører tryk til pulverpartiklerne og komprimerer dem, hvilket i sidste ende danner et keramisk emne med en bestemt form og styrke.

2. Støbning

Støbning er en vådformningsteknologi, der er i stand til at producere keramiske emner med tykkelser fra titusvis af mikrometer til millimeter i en enkelt proces. En keramisk gylle med god viskositet og dispersion flyder fra gyllerillen på en støbemaskine til et underlag. Gyllen spredes, og under overfladespænding dannes et emne med en glat overside. Emnet sendes sammen med substratet til et tørrekammer. Efter at opløsningsmidlet er fordampet, danner et organisk bindemiddel et netværk mellem de keramiske partikler, hvilket skaber et emne med en vis styrke og fleksibilitet. Det tørrede emne pilles af underlaget og rulles sammen til senere brug. Yderligere forarbejdning, såsom skæring, stempling og gennemboring, efterfulgt af brænding, fuldender produktfremstillingsprocessen.

3. Sprøjtestøbning

Sprøjtestøbning er en ny teknologi til fremstilling af keramiske dele. Dets produktionsproces består hovedsageligt af fire faser: forberedelse af injektionsmaterialet, sprøjtestøbning, afbinding og sintring. Det bruges almindeligvis til fremstilling af små keramiske dele med komplekse geometrier og specielle krav.

4. Isostatisk presning

Isostatisk presning omfatter varm isostatisk presning og kold isostatisk presning. Isostatisk presning kan overføre tryk fra alle retninger og dermed sikre fortætningen af pladematerialet.

1) Varm isostatisk presseproces

Denne metode øger atomdiffusion under høj temperatur og tryk, hvilket får porer i keramikken til at migrere til korngrænser eller arbejdsemnets overflade og derved reducere eller eliminere porøsitet. Varm isostatisk presning bruger tyndvæggede forspændte viklingsenheder, hvilket muliggør ensartet og hurtig afkøling, hvilket væsentligt forbedrer produktionseffektiviteten sammenlignet med naturlig køling.

2) Kold isostatisk presseproces

Denne metode anvender 100~600 MPa til keramik eller metalpulver ved stuetemperatur eller lidt højere temperaturer (<93℃) for at opnå en "grøn krop", som derefter sintres til sin endelige styrke.

5. Slipstøbning

Slipstøbning er en almindeligt anvendt støbemetode i storskala keramikproduktion. Det involverer indsprøjtning af en gylle med højt faststofindhold og god flydeevne i en porøs gipsform. På grund af den porøse forms kapillarsugning trækkes vand fra opslæmningen af formens indervæg og danner et størknet grønt legeme langs formvæggen. Når den grønne krop har nået en vis styrke, kan den tages ud af formen.

6. Ekstrusionsstøbning

Ekstrusionsstøbning involverer blanding af keramisk pulver, ler eller organisk bindemiddel og vand, gentagne gange æltning, vakuumafgasning og ældning for at give den ekstruderede grønne krop god plasticitet og ensartethed. Derefter, under påvirkning af en ekstruderingsskrue eller et stempel, ekstruderes det gennem en dyse ved ekstruderdysen for at opnå den ønskede produktform.

7. Hot Press Casting

Varmpressestøbning udnytter hovedsageligt egenskaben ved at paraffinvoks smelter, når den opvarmes og størkner ved afkøling. Keramisk pulver og varm paraffinvoks blandes ensartet for at danne en flydende opslæmning. Under et vist tryk sprøjtes gylle ind i en metalform for at danne en grøn krop. Efter afkøling og størkning fjernes den grønne krop og fjernes. Den grønne krop trimmes derefter, afvokses ved høj temperatur og sintres til sidst for at fremstille det færdige produkt.

8. Gelstøbning

Gelstøbning involverer dispergering af keramisk pulver i en opløsning indeholdende organisk materiale for at fremstille en suspension med højt faststofindhold. Denne suspension sprøjtes derefter ind i en form med en bestemt form. Under specifikke katalytiske forhold og temperaturforhold polymeriserer de organiske monomerer, danner en gel, størkner suspensionen in situ og tørrer, hvilket resulterer i en grøn krop med høj styrke.

9. Direkte størkningsstøbning

Direkte størkningsstøbning er en ny metode til dannelse af keramiske kolloide strukturer i netstørrelse. Denne metode kombinerer traditionel keramisk teknologi med kemisk teori ved at bruge katalysatorer eller initiatorer til at forårsage tværbinding af organiske monomerer tilsat til suspensionen, hvilket danner en netværksstruktur, der fører til in-situ størkning.