Hjem > Nyheder > Industri nyheder

TaC belægning

2023-08-07

TaC-keramik har et smeltepunkt så højt som 3880°C, høj hårdhed (Mohs hårdhed 9-10), stor varmeledningsevne (22W·m)-1·K−1), stor bøjningsstyrke (340-400 MPa) og lille termisk udvidelseskoefficient (6,6×10-6K-1), og udviser fremragende termokemisk stabilitet og fremragende fysiske egenskaber, så TaC-belægninger bruges i vid udstrækning til termisk beskyttelse til rumfart, og grafit- og C/C-kompositter har god kemisk kompatibilitet og mekanisk kompatibilitet. ), og viser fremragende termokemisk stabilitet og fremragende fysiske egenskaber, og grafit- og C/C-kompositter har god kemisk kompatibilitet og mekanisk kompatibilitet, så TaC-belægninger er meget udbredt i rumfarts termisk beskyttelse, enkeltkrystalvækst, energi og elektronik og medicinsk udstyr, etc. TaC-belagt grafit har en bedre kemisk resistens end bar grafit eller SiC-belagt grafit, og kan anvendes stabilt ved en høj temperatur på 2600°. 2600 ° høj temperatur stabilitet, og mange metalelementer reagerer ikke, er den tredje generation af halvleder enkeltkrystal vækst og wafer ætsning scenarier i den bedste ydeevne af belægningen, kan betydeligt forbedre processen med temperatur og urenhedskontrol, forberedelse af høj -kvalitets siliciumcarbid wafers og tilhørende epitaksial wafer. Det er især velegnet til MOCVD-udstyr til at dyrke GaN- eller AlN-enkeltkrystaller og PVT-udstyr til at dyrke SiC-enkeltkrystaller, og kvaliteten af ​​de dyrkede enkeltkrystaller er væsentligt forbedret.

 

Ifølge forskningsresultaterne,TaC-belægning kan fungere som et beskyttelses- og isoleringslag for at forlænge grafitkomponentens levetid, forbedre radial temperaturensartethed, opretholde SiC-sublimeringsstøkiometri, undertrykke urenhedsmigrering og reducere energiforbruget. I sidste ende forventes et TaC-belagt grafitdigelsæt at forbedre SiC PVT proceskontrol og produktkvalitet.

X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept