Hvad er diffusionsovnen?

En diffusionsovn er et specialiseret stykke udstyr, der bruges til at indføre urenheder i halvlederwafere på en kontrolleret måde. Disse urenheder, kaldet dopingmidler, ændrer de elektriske egenskaber af halvledere, hvilket gør det muligt at fremstille forskellige typer elektroniske komponenter. Denne kontrollerede diffusionsproces er afgørende for produktionen af ​​transistorer, dioder og integrerede kredsløb.

Diffusionsovne består af flere nøglekomponenter, herunder procesrør, varmeelementer, luftindtagsmekanismer og kontrolsystemer. Procesrøret fungerer som et kammer, hvor waferen placeres. Det kan modstå høje temperaturer og ætsende gasser, hvilket gør det til et ideelt materiale til denne applikation.

Varmeelementer, giver den nødvendige varme til at hæve ovntemperaturen til det ønskede niveau. Temperaturer i diffusionsovne er typisk så høje som 1200°C. For at sikre ensartet opvarmning er varmeelementerne ofte anbragt i en spiralform.

En gasindløbsmekanisme bruges til at indføre dopinggas i ovnen. Almindelige dopingmidler omfatter bor, fosfor og arsen, afhængigt af de ønskede elektriske egenskaber af det endelige halvlederprodukt. Et kontrolsystem regulerer strømmen af ​​dopinggas og opretholder præcis kontrol over diffusionsprocessen.

Diffusionsovne er meget udbredt i halvlederindustrien. De bruges i den dopingproces, der skaber pn-forbindelser i transistorer og dioder. Diffusionsovne spiller også en afgørende rolle i fremstillingen af ​​integrerede kredsløb, hvor flere lag af forskellige halvledere er stablet og sammenkoblet.

Ydermere er diffusionsovne afgørende for fremstillingen af ​​avancerede halvlederenheder såsom power MOSFET'er (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors) og Insulated Gate Bipolar Transistors (IGBT'er). Disse enheder er så afgørende i kraftelektronik og vedvarende energiteknologi, at diffusionsovne er en integreret del af deres produktion.

Diffusionsovne er kritiske værktøjer i halvlederfremstilling, der tillader kontrolleret indføring af dopingstoffer i halvlederwafere. Disse ovne er en integreret del af produktionen af ​​forskellige halvlederenheder såsom transistorer, dioder og integrerede kredsløb. Efterhånden som teknologien udvikler sig, fortsætter diffusionsovnenes muligheder med at stige, hvilket muliggør mere præcise og pålidelige fremstillingsprocesser. Halvlederindustrien er stærkt afhængig af disse ovne for at imødekomme den voksende efterspørgsel efter avanceret elektronisk udstyr.

Semicorex fremstiller tilpassede SiC-dele til diffusionsovne. Hvis du har spørgsmål eller brug for yderligere detaljer, så tøv ikke med at kontakte os.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com