Metoder til AlN-krystalvækst

AlN, som tredje generations halvledermateriale, er ikke kun et vigtigt blåt lys og ultraviolet lys materiale, men også et vigtigt emballage-, dielektrisk isolerings- og isoleringsmateriale til elektroniske enheder og integrerede kredsløb, især velegnet til højtemperatur- og højeffektenheder . Derudover har AlN og GaN et godt termisk match og kemisk kompatibilitet, AlN, der bruges som GaN epitaksialt substrat, kan betydeligt reducere defekttætheden i GaN-enheder, forbedre enhedens ydeevne.

På grund af de attraktive anvendelsesmuligheder har fremstillingen af ​​højkvalitets, store AlN-krystaller fået stor opmærksomhed fra forskere i ind- og udland. I øjeblikket fremstilles AlN-krystaller ved opløsningsmetode, direkte nitrering af aluminiummetal, hydridgasfase-epitaksi og fysisk dampfasetransport (PVT). Blandt dem er PVT-metoden blevet mainstream-teknologien til dyrkning af AlN-krystaller med dens høje væksthastighed (op til 500-1000 μm/h) og høje krystalkvalitet (dislokationstæthed under 103 cm-2).

Væksten af ​​AlN-krystaller ved PVT-metoden opnås ved sublimering, gasfasetransport og omkrystallisation af AlN-pulver, og vækstmiljøets temperatur er så høj som 2 300 ℃. Det grundlæggende princip for dyrkning af AlN-krystaller ved PVT-metoden er relativt simpelt, som vist i følgende ligning:

2AlN(er) ⥫⥬ 2Al(g) ＋N2(g)

Hovedtrinene i vækstprocessen er som følger: (1) sublimering af AlN-råpulver; (2) transport af gasfasekomponenter af råmaterialet; (3) adsorption af gasfasekomponenter på vækstoverfladen; (4) overfladediffusion og kernedannelse; og (5) desorptionsproces [10]. Under standardatmosfærisk tryk begynder AlN-krystaller kun at nedbrydes til Al-damp og nitrogen ved ca. 1 700 ℃, og nedbrydningsreaktionen af ​​AlN intensiveres hurtigt, når temperaturen når 2 200 ℃.

TaC-materiale er det ægte AlN krystalvækst-digelmateriale i brug, med fremragende fysiske og kemiske egenskaber, fremragende termisk og elektrisk ledningsevne, kemisk korrosionsbestandighed og god termisk stødbestandighed, som effektivt kan forbedre produktionseffektiviteten og levetiden.

Semicorex tilbyder høj kvalitetTaC belægningsproduktermed skræddersyet service. Hvis du har spørgsmål eller brug for yderligere detaljer, så tøv ikke med at kontakte os.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com