2023-11-10
I halvlederindustrien er kvarts meget brugt, og kvartsprodukter med høj renhed er endnu vigtigere forbrugsstoffer i waferproduktion. Produktionen af siliciumenkeltkrystaldigler, krystalbåde, diffusionsovns kernerør og andre kvartskomponenter skal bruge kvartsglasprodukter med høj renhed. Kvartsdele i halvlederområdet, de vigtigste målmarkedsapplikationer til waferstøberi-diffusion og ætsningsproces, kan opdeles i to kategorier af højtemperatur-zone-enheder og lav-temperatur-zone-enheder, vil bruge de vigtigste enheder er som følger:
1) Højtemperaturzoneanordninger er hovedsageligt diffusionsoxidation og andre aspekter af brugen af ovnrør, glasbådstativer osv., skal være i et højtemperaturmiljø, direkte eller indirekte i kontakt med siliciumwaferen; hovedsagelig indkøb af elektrosmeltede kvartsglasmaterialer, fremstillet ved termisk behandling;
2) Lavtemperaturzoneanordninger er hovedsageligt ætsningsforbindelser såsom kvartsringe, men inkluderer også rengøringsproceskurve, rengøringstanke osv., der hovedsageligt anvendes i lavtemperaturmiljøer; hovedsagelig indkøbt gas raffinering kvartsglas, gennem kold forarbejdning produktion
Blandt dem forbruger højtemperaturzone-enhederne hurtigere, men ligner multi-chip-maskinen (en bærer til at bære mere end en wafer), lavtemperaturzone-enhederne forbruger langsommere, men monolitisk (en bærer til at bære en wafer) ; derfor er de to overordnede markedsstørrelser relativt tæt på hinanden.