Hvad er en SiC-båd, og hvad er dens forskellige fremstillingsprocesser?

1. De forskellige fremstillingsprocesser afSiC båd

(1) Coating et lag afSiC filmpå overfladen af ​​grafitkrystalbådegennem CVD

Denne type båd har en grafitkerne, som er bearbejdet i ét stykke. Imidlertid,grafit er porøstog tilbøjelig til partikeldannelse, hvilket nødvendiggør anvendelsen af ​​enSiC film belægningpå dens overflade. På grund af misforholdet i termisk udvidelseskoefficient (CTE) mellem grafitlegemet ogSiC film, vil belægningen sandsynligvis skalle af efter flere opvarmnings- og afkølingscyklusser, hvilket fører til partikelforurening. Disse både er de billigste og har en levetid på omkring et år.

(2) Coating et lag afSiC filmved omkrystalliseretSiC krystal både

OmkrystalliseretSiC bådeer også porøse og kan nemt danne partikler. Derfor omkrystalliserede de enkelte komponenterSiC bådeskal forformes, sintres og derefter bearbejdes separat. Derefter bindes komponenterne sammen ved høje temperaturer ved hjælp af Si-pasta. Når den er samlet til en enkelt båd, enSiC filmpåføres gennem CVD. Dette omkrystalliserede sigSiC bådhar den længste fremstillingsproces og er dyr, men overfladenCVD belægningkan også blive beskadiget med en levetid på omkring tre år.

(3)MonolitiskSiC krystal både

Dissebådeer udelukkende sammensat af SiC-materiale. SiC-pulver skal støbes og sintres i form af en monolitisk båd. Ekstremt dyre, de er meget holdbare og mindre tilbøjelige til at generere partikler. Disse både indeholder dog 10-15 % frit silicium, som er modtageligt for erosion af fluor og klor, hvilket fører til partikelforurening.

2. Hvorfor anbefales renseri ikke?

Sammenfattende forSiC bådebelagt med enSiC-film gennem CVD, overfladebelægningen er tilbøjelig til at skalle af under kemisk rensning, hvilket forårsager partikelforurening. Til monolitiskSiC bådeder indeholder en lille mængde frit silicium, kan udsættelse for gasser indeholdende fluor eller klor føre til erosion og partikeldannelse og dermed forårsage forurening.**