Forskellige anvendelser af kvarts i halvlederfremstilling

Ved første øjekast,kvarts (SiO2) materialeligner meget glas, men det specielle er, at almindeligt glas er sammensat af mange komponenter (såsom kvartssand, boraks, borsyre, baryt, bariumkarbonat, kalksten, feldspat, soda osv.), mens kvarts kun indeholder SiO2 og dets mikrostruktur er et simpelt netværk bestående af siliciumdioxid tetraedriske strukturenheder.

Fordi mængden af ​​metalurenheder indeholdt ikvartser meget lille og dens renhed er ekstrem høj, kvarts i sig selv har egenskaber og fordele, som andre glas ikke kan vise, og er kendt som "kronen" af glasmaterialer. For eksempel vil kvarts med hensyn til varmebestandighed ikke eksplodere, selvom den straks lægges i vand efter at være blevet rødbrændt i ilden. Mere specifikke fordele er som følger:

1. Høj temperatur modstand. Blødgøringspunktet for kvartsglas er omkring 1730 ℃, og det kan bruges i lang tid ved 1150 ℃, og den maksimale temperatur kan nå 1450 ℃ i kort tid.

2. Korrosionsbestandighed. Bortset fra flussyre har højrent kvarts næsten ingen kemisk reaktion med andre sure stoffer. Ved høje temperaturer kan den modstå korrosion fra svovlsyre, salpetersyre, saltsyre, aqua regia, neutrale salte, kulstof og svovl. Dens syrebestandighed er 30 gange højere end keramik og 150 gange rustfri stål. Især dens kemiske stabilitet ved høje temperaturer er uovertruffen af ​​andre tekniske materialer.

3. God termisk stabilitet. Kvarts med høj renhed har en meget lille termisk udvidelseskoefficient og kan modstå drastiske temperaturændringer. Når højrent kvarts opvarmes til omkring 1100°C, vil den ikke eksplodere, når den placeres i stuetemperaturvand.

4. God lystransmission. Kvarts med høj renhed har god lystransmission i hele spektret fra ultraviolet til infrarød, og den synlige lystransmittans er over 93%, især i det ultraviolette spektrum kan den maksimale transmittans nå mere end 80%.

5. God elektrisk isoleringsevne. Modstandsværdien af ​​højrent kvarts svarer til 10.000 gange den for almindeligt kvartsglas. Det er et fremragende elektrisk isoleringsmateriale og har gode elektriske egenskaber selv ved høje temperaturer.

Takket være disse fremragende fysiske og kemiske egenskaber anvendes højrente kvartsmaterialer i vid udstrækning i moderne elektronisk teknologi, halvledere, kommunikation, elektriske lyskilder, solenergi, højpræcisions nationale forsvarsmåleinstrumenter, fysiske og kemiske laboratorieinstrumenter, atomenergi, nano-industri osv. Især i den hastigt udviklende halvlederindustri har omfanget af siliciumwafers været stigende, så chipproducenter har stor efterspørgsel efter forskellige kvartskomponenter. Det skal dog også bemærkes, at for at forhindre kontaminering under forarbejdningsprocessen, skal den høje renhed af kvartsmaterialet sikres under brug.

I halvlederindustrien,kvartser meget udbredt, og kvartsprodukter med høj renhed er vigtige forbrugsstoffer i waferproduktion. Kvartsdele såsom digler, krystalbåde og diffusionsovns kernerør, der bruges til at fremstille siliciumenkeltkrystaller, skal bruge kvartsglasprodukter med høj renhed. Den primære målmarkedsanvendelse af kvartsdele i halvlederområdet er diffusions- og ætsningsprocessen i waferstøberi. De kan opdeles i to kategorier: højtemperaturzoneenheder og lavtemperaturzoneenheder. De vigtigste enheder, der anvendes, er som følger:

1. Højtemperaturzoneanordninger er hovedsageligt ovnrør, glasbåde osv., der anvendes til diffusionsoxidation og andre forbindelser, som skal være direkte eller indirekte i kontakt med siliciumwafers i et højtemperaturmiljø; de er hovedsagelig indkøbt smeltet kvartsglasmaterialer og fremstillet ved termisk behandling;

2. Lavtemperaturzoneanordninger omfatter hovedsageligt kvartsringe, der anvendes i ætseprocessen, samt blomsterkurve og rensetanke, der anvendes i renseprocessen. De bruges hovedsageligt i miljøer med lav temperatur. De køber hovedsageligt gasraffineret kvartsglas og produceres ved kold forarbejdning.

Semicorex tilbyder høj kvalitetkvarts delepå halvlederniveau. Hvis du har spørgsmål eller brug for yderligere detaljer, så tøv ikke med at kontakte os.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com