PBN -kompositvarmere

Semicorex PBN -kompositvarmere fletter den fremragende termiske ledningsevne af pyrolytisk grafit med den kemiske inertitet og elektrisk isolering af pyrolytisk bornitrid. Disse varmeapparater er bygget af en meget høj renhedsgrafit og PBN, der påføres ved hjælp af en CVD -proces af høj kvalitet (kemisk dampaflejring) under betingelser med høj renhedsaflejring. Hvert individuelt præstationslag er blevet deponeret med meget ekstrem kontrolbarhed for at sikre ultrahøj renhed og konsistente termiske egenskaber. Grafitkernen, der tilvejebringer hurtig og ensartet opvarmning overalt, er beskyttet mod oxidation og kontaminering af PBN -kapslen; Dette gør varmeapparatet ideelt til vakuumgasmiljøer og inerte gasmiljøer. Disse PBN -varmeapparater er målrettet designet til brug i MBE (molekylær bjælkepitaxy) reaktorer, CVD -reaktorer og andre krystalvækstsystemer.

Den pyrolytiske bornitrid-pyrolytisk grafit (PBN-PG) sammensat varmelegeme er en varmelegeme, der bruger PBN med høj insulation som substrat og bruger lavtryks termisk nedbrydning af kemisk dampaflejring (CVD) ved lavt tryk (under 10Torr) og høj temperatur til at belægge den ledende PG. Hovedkomponenterne i denne sammensatte varmelegeme er pyrolytisk bornitrid (PBN) og pyrolytisk grafit (PG). På grund af dens fremragende korrosionsmodstand og høj temperaturresistens bruges den hovedsageligt til halvledersubstratopvarmning (anvendt i MBE, MOCVD, sputtering belægning osv.); Superledersubstratopvarmning; Prøveopvarmning under prøveanalyse; Elektronmikroskopprøveopvarmning; metalopvarmning; metalfordampning opvarmningskilde osv.

PBN -varmeapparater kan modstå driftstemperaturer på op til 1600 ° C i vakuum og har en forbedret evne til at modstå termisk chok over alle metalbaserede alternativer, som du ville stole på. Varmerens overflade er ekstremt glat og tæt og producerer betydeligt mindre partikler under drift, hvilket er kritisk for anvendelser, hvor forurening ikke kan tolereres, såsom halvlederskiverbehandling.

Den sammensatte struktur giver fremragende termisk ensartethed over varmeoverfladen, og dens resistive stier kan tilpasses for at give mulighed for en skræddersyet varmefordeling. Dette design muliggør hurtig ramp-up og cooldown-cyklusser under behandling uden at revne og delaminere på grund af de samme termiske ekspansionskoefficienter for de brugte materialer. Elektroderne er i stand til at modstå kontinuerlig høj strømdrift og er også kompatible med vakuum.

Semicorex giver ubegrænset designfleksibilitet til unikke former, størrelser og effektkrav, når det er nødvendigt, for at imødekomme specifikke applikationsbehov; Uanset om det er for standard skivestørrelser eller mere komplekse geometrier, garanterer vi dimensionel nøjagtighed og termisk ensartethed i hver produceret enhed.

PBN-kompositvarmere er perfekte til ultra-rene applikationer, herunder:

• MBE-systemer til III-V og II-VI Compound Semiconductor Processing
• Vakuumbelægningssystemer til optiske komponenter
• Krystalvækstsystemer til safir og SIC
• Termisk behandling med høj renhed til forskning og udviklingslaboratoriemiljøer.