PBN -varmeapparat

Semicorex Pyrolytic Boron Nitride PBN Heater er en høj-puritet, højtydende opvarmningskomponent designet til krævende anvendelser, hvor ultra-rene, kemisk stabile og termisk effektive materialer er vigtige. Fremstillet gennem en kemisk dampaflejring (CVD) -proces udviser PBN enestående termisk ledningsevne, høj temperaturresistens og enestående kemisk inertitet, hvilket gør det til det ideelle valg til halvlederbehandling, krystalvækst og vakuumapplikationer.

PBN-varmeapparat er en varmelegeme, der bruger meget isolerende PBN som et underlag og bruger lavtryks termisk nedbrydning af kemisk dampaflejring (CVD) til at belægge ledende PG ved lavt tryk (under 10Torr) og høj temperatur. Hovedkomponenterne i denne sammensatte varmelegeme er pyrolytisk bornitrid (PBN) og pyrolytisk grafit (PG). På grund af dens fremragende korrosionsmodstand og høj temperaturresistens bruges den hovedsageligt til halvledersubstratopvarmning (anvendt i MBE, MOCVD, sputtering belægning osv.); Superledersubstratopvarmning; Prøveopvarmning under prøveanalyse; Elektronmikroskopprøveopvarmning; metalopvarmning; metalfordampning opvarmningskilde osv.

PBN er inert for ætsende gasser; har høj renhed (større end 99,99%); reagerer eller reagerer ikke med de fleste smeltede metaller (det har egenskaberne ved en non-stick-pande, og metallet kan bruges 100%); har god høj temperaturresistens (den maksimale driftstemperatur er 2000 ℃); god densitet; God termisk stødmodstand og andre fremragende egenskaber gør det til et ideelt materiale til forberedelse af PBN-PG-kompositvarmere. PG kan hurtigt opvarmes til 1600 ℃ (i en inert atmosfære og under vakuum) i en PBN -varmelegeme. På samme tid kombineret med den gode termiske ledningsevne af PBN har opvarmningsoverfladen god varmeuniformitet. Med den hurtige udvikling af relaterede industrier er efterspørgslen efter PBN-PG-kompositvarmere også steget hurtigt.

PBN -varmeapparater kan fremstilles i forskellige former og konfigurationer for at imødekomme specifikke design- og integrationskrav. Typiske design inkluderer plane varmeapparater, rørformede varmeapparater og brugerdefinerede geometrier med indlejrede eller overflademonterede varmeelementer. Opvarmningselementerne er normalt lavet af pyrolytisk grafit (PG) og indkapslet i PBN, hvilket giver en fuldstændigt forseglet, elektrisk isolerende og termisk effektiv struktur.